公开(公告)号：CN112985277A

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN202011459154.9

申请日：2020-12-11

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 亨德瑞克·凯特拉尔斯 ,  A·祖德伟格 ,  L·雷德拉斯基 ,  J·奎达克尔斯

IPC: G01B11/06

Abstract: 公开了一种用于测量测试表面的高度图的方法，该方法使用包括预扫描传感器和高度测量传感器的多传感器设备来进行测量，所述测试表面具有变化的反射率。多传感器设备还包括被配置为对测试表面进行照明的一个或多个光源以及空间光调制器。空间光调制器被放置在一个或多个光源与多传感器设备的测量位置之间的光路中，并且被配置为调制从光源中至少之一发出的光。该方法包括进行用于确定测试表面的照明强度图的测量以及用于形成测试表面的高度图的测量。

公开(公告)号：CN108801148A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810004677.0

申请日：2018-01-03

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： J·奎达克尔斯

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/24

Abstract: 用于计算物体表面的高度图的方法和系统。在用于从通过光学系统扫描物体表面的光学2.5D轮廓的图像栈计算物体表面的高度图的方法和系统中，在相对于物体表面的不同高度位置处扫描焦平面。在焦平面的各高度位置处拍摄图像以形成图像栈。扫描所述焦平面包括长距离感测和短距离感测焦平面的位移以感测低空间频率分量和高空间频率分量。通过将低空间频率分量和高空间频率分量结合估算焦平面的高度位置。基于估算的各相应焦平面的高度位置计算图像栈中各图像的高度位置。将图像栈的图像插值到等距的高度位置以获得校正的图像栈。从校正的图像栈计算物体表面的高度图。

公开(公告)号：CN105318845A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510441041.9

申请日：2015-07-24

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： A·T·祖德伟格 ,  J·奎达克尔斯 ,  H·维斯切

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/02

CPC classification number: G06T11/206 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/245 ,  G01B2210/52

Abstract: 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高精度高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。