公开(公告)号：CN111796291A

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010253611.2

申请日：2020-04-02

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 神谷达也 ,  石井格 ,  种村友贵 ,  青木敬 ,  加藤哲弥

IPC: G01S15/931 ,  G01S7/521 ,  B81B3/00

Abstract: 超声传感器(1)包括：元件存储壳体(4)，其包括至少一个壳体侧膜片(43a)，该壳体侧膜片是厚度方向沿着方向轴(DA)的振动板；和至少一个超声元件(50)，其容纳在元件存储壳体中并与壳体侧膜片间隔开。超声元件包括元件侧膜片(54)，该元件侧膜片(54)是具有沿方向轴的厚度方向的振动膜，并且由厚度方向沿着方向轴的半导体基板(51)的薄部提供。半导体基板设置为在壳体侧膜片与元件侧膜片之间提供至少一个封闭空间(SC)作为共振空间。半导体基板由元件存储壳体固定和支撑。

公开(公告)号：CN103513415A

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：CN201310240744.6

申请日：2013-06-18

Applicant: 株式会社电装

Inventor： 种村友贵 ,  山下秀一 ,  和户弘幸 ,  竹内幸裕

IPC: G02B26/00 ,  G01N21/45

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02023

Abstract: 一种法布里-珀罗干涉仪，包括输入镜子（50）和布置为隔着间隙（AG）面对所述输入镜子的输出镜子（30）。每一镜子包括一对高折射层（31，32，51，52）和选择性地布置在所述高折射层之间的空隙层（33，53）。布置为跨过所述间隙的输入侧桥部分和输出侧桥部分中的至少之一可作为隔膜移动。每一桥部分包括透射部（S1，S2）和周边部（T1，T2）。每一透射部包括镜子元件（M1，M2），在所述镜子元件（M1，M2）中，所述空隙层由所述一对高折射层夹置。在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）的宽度大于从所述输出镜子输出的透射光的最大波长的七倍并用作衍射限制镜子。