公开(公告)号：CN110788740A

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201910708221.7

申请日：2019-08-01

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 小林贤一 ,  真继阿沙葵 ,  柏木诚 ,  保科真穗

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/34 ,  H01L21/304

Abstract: 本申请提供用于保持基板的顶环以及基板处理装置，顶环用于保持尺寸大的基板。根据一个实施方式，提供用于保持基板的顶环，该顶环具有：基板支承面；保持部件，该保持部件被配置为包围所述基板支承面的外周；以及保持器引导装置，该保持器引导装置以使保持部件能够在与所述基板支承面垂直的方向上位移的方式进行引导，并且以禁止保持部件在与所述基板支承面平行且远离所述基板支承面的方向上的位移的方式进行支承，保持器引导装置配置在将所述基板支承部包围的保持部件的内侧。

公开(公告)号：CN305255950S

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201930028261.8

申请日：2019-01-18

Applicant: 株式会社荏原制作所

Designer： 小林贤一 ,  真继阿沙葵 ,  柏木诚 ,  保科真穗

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板保持部件。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品是用于保持基板的基板保持部件。
3．本外观设计产品的设计要点：整体形状和结构。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图1。
5．本外观设计产品设计1的左视图与右视图对称，设计2的左视图与右视图对称，故省略本外观设计产品设计1的左视图和设计2的左视图。
6．本外观设计产品为相似外观设计，设计1是基本设计。