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公开(公告)号：CN103353563A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201310269347.1
申请日：2013-06-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种单片压敏电阻阀片内部的电流分布均匀性测试方法，属于电工材料技术领域。首先对ZnO压敏电阻阀片的上下表面研磨抛光，通过光刻与溅射得到微电极阵列；将其下表面与一块薄铅板贴合，将上表面均匀划分为若干等面积的单元，用微探针接触任意一个单元面积上的各银电极；在与下表面接触的薄铅板和与上表面接触的探针或薄铅板之间施加连续变化电压，测量对应的电流，得到以电流密度为横坐标、电场强度为纵坐标的伏安特性曲线，从中按一定规则选取对应的电流密度值，求取ZnO压敏电阻阀片的电流不均匀度。本发明方法可以有效评估氧化锌压敏阀片内部结构与性能的均匀性，以测试研究电流分布均匀性对氧化锌工作特性的影响。
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