公开(公告)号：CN1942365A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200480031605.1

申请日：2004-09-07

申请人： 高级技术材料公司

发明人： 迈克尔·J·沃德延斯基

IPC分类号： B65B1/04

CPC分类号： F17C13/025 ,  F17C7/00 ,  F17C13/045 ,  F17C2205/0111 ,  F17C2205/013 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/035 ,  F17C2227/042 ,  F17C2227/044 ,  F17C2227/045 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/043 ,  F17C2270/0518

摘要： 一种气体存储和分配系统，其包括气体分配容器的多容器阵列，各气体分配容器需要连续地转接以向耗气工艺提供连续的气体供给，并且以气流连通的方式与泵耦合。该系统具有用于转接操作的时间延迟自动转接过程的能力，其中在转接操作中，在工作气体分配容器的终点限度感测之后，响应性地进行终止向泵的气流、泵的无效、容器的自动切换、重新开始向泵的气流以及泵的重新启动。该系统使响应从多容器阵列中的一个容器到另一个容器转接气体供给时在泵入口处的压力变化而在泵出口处发生的压力尖峰最小化。