公开(公告)号：CN112505064A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202011506981.9

申请日：2020-12-18

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 杨青 ,  王智 ,  庞陈雷 ,  徐良 ,  殷源 ,  王立强 ,  刘旭

IPC: G01N21/95

Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。

公开(公告)号：CN112286015A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202011378520.8

申请日：2020-12-01

Applicant: 之江实验室

Inventor： 匡翠方 ,  朱大钊 ,  刘旭

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于柱状矢量偏振光束调制的双光子激光打印装置，属于超分辨激光微纳加工领域，由激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束；平行光束经过起偏器被转化为偏振光，再经1/2波片旋转偏振方向后被径向偏振光生成器转化为径向偏振光；径向偏振光依次经过两个圆锥透镜整形为环形平行光束；环形的径向偏振光被高数值孔径物镜聚焦，形成高分辨焦斑，其半高全宽小于同参数下传统圆偏光形成的焦斑，因此可以获得更高的打印分辨率；该装置中加入了能量和位置监测及稳定装置，实现焦斑的位置和能量稳定；同时加入了成像装置，实现样品的高分辨原位测量。该装置可提升传统双光子激光打印的分辨率。

公开(公告)号：CN112051710A

公开(公告)日：2020-12-08

申请号：CN202010911112.8

申请日：2020-09-02

Applicant: 之江实验室

Inventor： 曹春 ,  黄宁 ,  匡翠方 ,  刘旭

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明公开了一种基于巯基烯光点击聚合高折射率飞秒激光光刻胶，该光刻胶包括高折射率硫醇化合物、高折射率丙烯酸酯类单体、双光子吸收剂和光引发剂。本发明在光刻胶体系中同时引入高折射率硫醇化合物和高折射率丙烯酸酯类单体，可以通过改变高折射率硫醇化合物和高折射率丙烯酸酯类单体的组份含量，调节秒激光光刻胶折射率，实现光刻胶折射率与飞秒激光系统折射率匹配，从而保证飞秒激光光斑不失真；可以在飞秒激光的诱导下，发生巯基烯光点击聚合，固化形成不溶性网络聚合物，从而在显影后得到图案。

公开(公告)号：CN111879737A

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201910855176.8

申请日：2019-09-10

Applicant: 之江实验室 ,  浙江大学

Inventor： 匡翠方 ,  陈宇宸 ,  刘旭 ,  徐良 ,  郝翔 ,  李海峰

IPC: G01N21/64 ,  G01N21/21 ,  G02B27/58

Abstract: 本发明提供一种产生高通量超衍射极限焦斑的方法，包括步骤：1)生成激发光；2)将生成的损耗光调制为空心损耗光；3)将激发光和空心损耗光合束后转换为光束阵列；4)将光束阵列聚焦在样品上进行受激发射损耗生成高通量超衍射极限焦斑扫描样品。本发明还提供一种产生高通量超衍射极限焦斑的装置。本发明相较于现有技术：具有极高的受激发射损耗显微成像速度和激光直写光刻速度；具有低至几十纳米的超高分辨率。

公开(公告)号：CN111538164B

公开(公告)日：2020-10-20

申请号：CN202010654713.5

申请日：2020-07-09

Applicant: 之江实验室

Inventor： 丁晨良 ,  朱大钊 ,  匡翠方 ,  刘旭 ,  徐良 ,  郝翔

IPC: G02B27/09 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明公开了一种基于数字微镜器件的空心光斑阵列并行调控装置，该装置利用空间光调制器对入射光束进相位调制，形成空心光斑阵列成像到数字微镜器件上，随后经过第四透镜与物镜，最终在样品材料上形成空心光斑阵列。本发明可以通过空间光调制器生成高质量的空心光斑阵列，利用数字微镜器件对阵列中每个单独的空心光斑实现快速地开关，从而控制样品材料处空心光斑阵列图案。本发明利用数字微镜器件的快速调制特点，结合空间光调制器在产生空心光斑阵列质量上的优势，可以为基于受激辐射损耗的高通量光刻技术提供可高速独立调控的空心光斑阵列，推动高速、纳米尺度三维光刻的发展。

公开(公告)号：CN111609817A

公开(公告)日：2020-09-01

申请号：CN202010323457.1

申请日：2020-04-22

Applicant: 之江实验室

Inventor： 匡翠方 ,  丁晨良 ,  朱大钊 ,  刘旭 ,  郝翔

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明公开了一种小型化高精度激光束指向稳定装置，该装置包括可调孔径光阑、二维快速控制反射镜、分光棱镜、二分之一波片、偏振分光棱镜、斜方棱镜、透镜、光电感应器件、反射部件、纳米移动台和控制器等部件；它利用偏振光束在全反射角度附近的反射特性，将其作为角度灵敏探测手段，结合快速控制反射镜实现角度方向偏移的独立修正。位置方向的漂移则由一个反射部件与位置探测器完成修正。本发明通过解除角度测量对光程的依赖，结合分离式地调控，实现小型化、高精度、快速度的光束稳定控制；利用本发明装置调整得到的稳定光束，可以广泛用于超分辨显微成像系统和高精度激光直写光刻系统。