一种化学放大型光致抗蚀剂及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118295208A

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202310009328.9

    申请日:2023-01-03

    Abstract: 本发明提供一种化学放大型光致抗蚀剂及其制备方法和应用。化学放大型光致抗蚀剂包括:五元共聚物、含有羧基或/和羟基的小分子物质、光致产酸剂、有机溶剂;其中,所述五元共聚物由五种共聚单体通过共聚反应制得,所述五种共聚单体为三种含有酸易变基团保护结构的化合物,以及烷基或含卤元素类基团取代或未取代的对羟基苯乙烯和烷基或含卤元素类基团取代或未取代的苯乙烯的组合物。本发明抗蚀剂,能够有效改善图形缺陷,满足光刻的工艺窗口及OPC光学修正的要求,特别适用于高能辐射束,适合用于在集成电路中形成微米级或纳米级的图案或应用于光电产品等领域。

    一种电子级正硅酸甲酯的提纯方法及系统

    公开(公告)号:CN117304220A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311222223.8

    申请日:2023-09-21

    Inventor: 吴传明 马吉全

    Abstract: 本发明公开了一种连续生产电子级正硅酸甲酯的提纯方法及提纯系统,包括以下步骤:1.进行氮气填充,去除装置内的杂质气体;2.将粗正硅酸甲酯以一定速度经过鳌合树脂和抛光树脂进行初步提纯;3.将杂质初步去除得到的产物经过精馏柱分别进行一次脱轻精馏与脱重精馏,得到精馏后的产物;4.将精馏得到的产物经过高效过滤器,去除产物中的大颗粒,得到最终产物。与现有技术相比,该技术简化了工艺流程,降低了产品成本,可制得纯度不低于99.999%,各离子含量小于1ppb,性质更加稳定的电子级正硅酸甲酯。

    一种羟基丙烯酸酯树脂分散体及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN115677909A

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202211322617.6

    申请日:2022-10-27

    Abstract: 本发明提供一种羟基丙烯酸酯树脂分散体及其制备方法和应用。所述方法包括以下步骤:将丙烯酸酯单体、苯乙烯、甲基丙烯酸混合形成单体混合液I,将丙烯酸酯单体、丙烯酸混合形成单体混合液II,将丙烯酸酯单体、交联单体、功能单体混合形成单体混合液III;加入釜底溶剂并升温,加入单体混合液I,加入引发剂;加入单体混合液II,加入引发剂;加入中和剂中和,加入水分散获得羟基丙烯酸分散体A;将羟基丙烯酸分散体A加入反应釜,加入单体混合液III,加入引发剂,得到目标羟基丙烯酸酯树脂分散体。该工艺制备的羟基丙烯酸酯树脂分散体在制备铝粉漆时具有优异的铝粉定向性能,特别适应于笔电等领域用于制备高铝粉定向银粉漆。

Patent Agency Ranking