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公开(公告)号：CN209352971U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822247089.8
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种小弧源靶材快速更换装置，在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在所述的安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上；技术效果在于，小弧源靶材装置能够快速地进行安装，杜绝了由于小弧源靶材会因为多次的紧固拆卸，造成小弧源固定法兰螺纹孔磨损的问题，延长了零部件的使用寿命。同时，用固定轴将小弧源靶材与安装法兰连接在一起，换靶时只需将靶材等主体组件拉出，大大简化了换靶操作，减少了所需时间。
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公开(公告)号：CN207176069U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135271.3
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/52
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜室用双层防护观察窗，其特征在于，所述的真空镀膜室用双层防护观察窗包括第一法兰、外层观察窗、内层观察窗、第二法兰，挡板；第一法兰与第二法兰之间依次设置外层观察窗、内层观察窗；在内层观察窗的右侧设置挡板；挡板为转动挡板；采用了挡板挡住真空镀膜室出现镀膜的颗粒物，延长镀膜的颗粒物污染观察室的时间；同时，在厚的观察室的里面设置一层较薄的观察室；这样，实现只要更换较薄的观察室就可以了，减少成本支出。
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公开(公告)号：CN213417006U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022100654.5
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型涉及一种卧式镀膜机，包括：设备框架，设置在卧式镀膜机的底部；多层轨道结构，多层轨道结构固定在设备框架上方；真空腔体，真空腔体通过支座固定在设备框架上；多层轨道结构设置在真空腔体的下方；旋转门结构，旋转门结构固定固定在多层轨道结构上。本实用新型同现有技术相比，镀膜前上料与镀膜后下料过程的可操作性简单方便，可以转动到合适的位置，设备的维护与清理也会简单方便，而且会比较彻底，解决了现有技术中存在的由于轨道长，造成镀膜前上料与镀膜后下料过程中清理困难，难以清理；使得卧式镀膜机的维护与清理，都很困难；同时由于轨道长造成卧式镀膜机的设备体积增大，制造成本增高，制造难度加大等技术问题。
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公开(公告)号：CN209352972U
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201822247108.7
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种用于多弧离子镀膜的小弧源，在安装法兰上螺栓固定屏蔽罩；在屏蔽罩的上方固定若干个支撑螺栓，在支撑螺栓上用螺母固定屏蔽板；在屏蔽板的中间套入靶材；在屏蔽罩的内部，在安装法兰上从下往上依次固定绝缘法兰、轭铁、靶座、靶材压框，固定靶材等部件；在安装法兰的边缘上开设一圆孔；在圆孔内设置自动引弧装置；小弧源采用三路磁场结构，外圈环形磁铁位置固定，中间的柱形磁铁高度可调，有效增强了靶材表面的磁场强度，可使用钨钼等耐高温难熔融靶材，解决了以往类似金属或合金难以镀膜的问题。
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公开(公告)号：CN207176073U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135325.6
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C16/505
Abstract: 本实用新型公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备的射频信号引入结构，包括双层水冷腔体、同轴电缆接头、屏蔽罩，屏蔽罩设置在双层水冷腔体的上方；同轴电缆接头设置在屏蔽罩上，在屏蔽罩与双层水冷腔体之间设置一焊接法兰；焊接法兰的上方设置第一绝缘法兰；第一绝缘法兰上方设置一接线法兰，接线法兰上中心设置一中心圆孔，在其的上方开设一凹槽，设置一进气管；在其两侧各设置一电刷；设置在凹槽内；电刷的一端抵住进气管的外侧；电刷的另一端抵住凹槽的两侧；进气管向下依次穿过第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体；在进气管与第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体之间设置一绝缘套；解决了射频信号引入失效的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN207176064U
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201721135272.8
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本实用新型公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205556769U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620216458.5
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN205556768U
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201620215908.9
申请日：2016-03-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种带气路且结构精简的小型圆形平面靶，包括波纹管和设置在波纹管上方的过渡法兰，过渡法兰外侧设置有安装法兰，安装法兰外侧设置阳极罩,阳极罩内部设置阴极主体部件，其中，在波纹管内侧纵向设置一个进气管，所述进气管的末端伸入过渡法兰的凹槽中，在所述安装法兰的左侧和右侧分别设置一个倾斜气孔，所述倾斜气孔与进气管相通，所述倾斜气孔与阳极罩内侧与阴极主体部件外侧形成的缝隙相连通。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。
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公开(公告)号：CN213744764U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022109240.9
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H19/04
Abstract: 本实用新型涉及一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板，包括：安装板；旋转装置，设置在安装板的上方；导轨，设置在安装板的下方，通过支架与安装板固定；移动装置，设置在导轨上，与导轨形成滑动连接；挡板，设置在移动装置的下方，与移动装置固定；本实用新型的技术效果主要采用齿轮齿条的直线传动形式，驱动平面挡板，以此达到结构稳定，传动平稳，传动精确的目的，同时，能够满足多边形镀膜机的应用。
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公开(公告)号：CN209481785U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201920091678.3
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜机转架用装卸台车，包括把手、架体、万向脚轮、定向脚轮、导向轮装置、导向轮定位装置；在架体的下方的一侧设置万向脚轮；在架体的下方的另一侧设置定向脚轮，在架体的一侧设置把手，架体的另一侧设置导向轮装置，在架体的上方设置定位装置；本实用新型的技术效果在于，在架体的下方安装万向脚轮和定向脚轮，在架体的上方安装定位装置；可以轻松的将真空镀膜机的转架移动到架体的上方并进行限位；将台车上的导轨通过在架体的导向和定位装置，与镀膜机腔体内部的导轨对接，实现镀膜机转架的进出更换。
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