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21.

发明公开
确认基板外形尺寸之方法有权

公开(公告)号：CN104677279A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201510099918.0

申请日：2015-03-06

申请人： 业成光电(深圳)有限公司 , 英特盛科技股份有限公司

发明人： 谢佩君 , 庄伟仲 , 张俊德 , 戴嘉骏

IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/24

摘要： 本发明公开了一种确认基板外形尺寸之方法，其是针对现行基板外形尺寸的确认方式作一改良，其改良点包括提供一具有对应基板外形尺寸之规格的罩幕，并且利用此罩幕，以在基板上形成一外圈标志与内圈标志。之后，检测基板上是仅具有内圈标志、同时具有外圈与内圈标志、或不具有外圈与内圈标志，以确认基板之外形尺寸是否符合规格。藉由此方法，本发明有效节省了习见量测基板尺寸之设备的成本与量测时间，并有效提升其检测效益。