一种双等离子体离子源
    21.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207783240U

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201721840554.8

    申请日:2017-12-26

    Abstract: 本实用新型公开了一种双等离子体离子源,阳极外壳和中间电极采用软铁材料,中间电极设有冷却槽,中间电极和阳极外壳之间设有励磁线包,放电室内设有阴极灯丝,阴极灯丝置于灯丝罩内,灯丝罩安装在灯丝架上,灯丝架和灯丝接线柱通过陶瓷管固定在中间电极法兰上,中间电极法兰安装在中间电极的一端,中间电极的冷却槽连通中间电极冷却管道入口,中间电极法兰上设有进气管道连通放电室,放电室另一端为锥形出口,锥形出口连接阳极嵌块,阳极嵌块连接扩张杯,阳极法兰上设有阳极法兰冷却管道入口和阳极法兰冷却管道出口,阳极法兰底部设有阳极引出法兰。本实用新型的有益效果是提供更高的引出束流强度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种冷阴极潘宁离子源
    22.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205944024U

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:CN201620870605.0

    申请日:2016-08-12

    Applicant: 兰州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种冷阴极潘宁离子源,该冷阴极潘宁离子源阳极采用隐藏式固定结构,对阴极靠近放电室的表面采用凹形结构,阴极引出采用上下圆锥形结构;阳极上的电压通过阳极接线柱馈入,阴极板、中间电极外套、连接法兰、对阴极焊接法兰均接地,并通过陶瓷法兰和绝缘法兰保持与阳极的绝缘。本实用新型提高引出束流强度的同时,大大延长了离子源的使用寿命,降低了使用成本。可以引出1~5 mA的D束流,使用寿命大于500小时;所有部件均采用可拆卸式结构,可方便更换易损部件的同时,给其参数的优化留下了很大的空间,提高了整体的经济效益。

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