层积体及阻气膜
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105263704A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201480018522.2

    申请日:2014-03-19

    Abstract: 层积体(5)包括:具有表面的基材(1)、覆盖所述基材(1)表面、且其膜厚为3nm以上500nm以下的原子层沉积膜(3)、和覆盖所述原子层沉积膜(3)的保护膜层(4)。在将所述原子层沉积膜(3)的厚度设为ta、将所述保护膜层(4)的厚度设为tOC时,所述保护膜层(4)的厚度满足ta<tOC<50ta的关系。

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