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公开(公告)号：CN103459665A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201280015471.9
申请日：2012-03-28
Applicant: 凸版印刷株式会社
IPC: C23C16/54
CPC classification number: C23C16/545 , B65H20/16 , B65H23/025 , C23C16/45551
Abstract: 本发明的卷绕成膜装置（1）具备：导入第一前驱体气体的第一真空室（21）；导入第二前驱体气体的第二真空室（22）；导入用于排出第一前驱体和第二前驱体的吹扫气体的第三真空室（23）；以及搬运设备（41a（41b）），该搬运设备将可卷绕的基材（15）搬运到第一真空室（21）、第二真空室（22）和第三真空室（23）中，并且具有保持基材（15）的宽度方向的两端部的保持部。
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