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公开(公告)号：CN103001108B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210513358.5
申请日：2012-12-03
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01S3/08
摘要： 本发明公开了一种准分子激光再生放大器，包括依次位于同一光路上的第一反射镜、第一波片、耦合镜、放大腔、第二波片和第二反射镜；第一、第二波片均为四分之一波片，第一、第二反射镜为全反镜，且其反射面均朝向放大腔，耦合镜与放大腔的光轴之间的夹角等于耦合镜的布鲁斯角的余角。本发明通过在放大器内放置波片使输入光与输出光尽管位于耦合镜两侧，方向相同，但两者被很好地隔离，利于消除再生放大腔对主振荡器的影响，并且结构简单，便于调整，能够充分提取放大腔中的能量。
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公开(公告)号：CN103036146B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201210493440.6
申请日：2012-11-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01S5/042
摘要： 一种准分子激光器脉冲电源，属于脉冲功率技术，解决现有脉冲电源中高压磁开关需要较复杂复位电路的问题，以简化电路结构，提高可靠性。本发明包括IGBT开关管、开关管驱动电路、一级磁开关、直流偏置电流源、可饱和脉冲变压器和二级磁开关。本发明在一级磁开关压缩电路设置直流偏置电流源，可控制调节初级储能电路能量转移效率、脉冲压缩宽度以及脉冲延时；利用可饱和脉冲变压器次级绕组和二级磁开关两端充放电电压方向相反的特殊性，省去了磁芯复位电路，两级磁开关均可在长期高重复率条件下工作，具有较强的通流能力和较高的耐压承受等级，故障率极低且基本免维护；特别适用于要求精准延时控制的光刻用短脉冲放电激励的气体激光器。
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公开(公告)号：CN103744197A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201310740490.4
申请日：2013-12-28
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种用于激光脉冲整形的等离子体开关，该等离子体开关的背景气体中混有易电离的气体，并使气体能够处于不断流动的状态，开关中还放置有冷却装置。易电离的气体可以为三乙胺。开关的具体结构包括真空腔，以及位于真空腔内的第一透镜、第二透镜、风扇和热交换器；第一透镜、第二透镜为两个相同的ZnSe透镜，真空腔上开有两个正对的观察窗，用于激光的输入和输出；真空腔的两个观察窗的中心，与第一透镜、第二透镜的中心在一条直线上，且两透镜间的距离为2f，f为透镜的焦距。本发明与现有等离子体开关的优势是在缩短脉宽的同时，保证了较高的激光透过率，从而使输出脉冲有较高的峰值功率，并提高了装置的重复率。
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公开(公告)号：CN103217851A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310086873.4
申请日：2013-03-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种共线光参量放大方法及装置，属于超快激光技术领域。本发明在两块β-BaB2O4晶体间插入BaF2晶体，产生的飞秒泵浦光和宽带信号光同步共线入射第一β-BaB2O4晶体进行第一次光参量放大，产生放大的飞秒信号光和飞秒闲频光，此时飞秒泵浦光超前飞秒信号光，飞秒信号光超前飞秒闲频光；通过BaF2晶体后调整为飞秒闲频光超前飞秒信号光，飞秒信号光超前飞秒泵浦光；最后通过第二β-BaB2O4晶体进行第二次光参量放大，飞秒泵浦光、飞秒信号光与飞秒闲频光达到时间同步。本发明同时补偿泵浦光、信号光与闲频光之间的群速度失配，提高三光信号的时间同步性，从而提高了共线光参量放大器的增益谱宽与转换效率。
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公开(公告)号：CN103066490A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210534934.4
申请日：2012-12-11
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种光纤碱金属蒸汽激光器，包括空芯光子晶体光纤、第一单模光纤、第二单模光纤、刻蚀于第一单模光纤上的第一布拉格光栅、刻蚀于第二单模光纤上的第二布拉格光栅以及与第一单模光纤连接的泵浦光源；工作物质均匀填充于空芯光子晶体光纤中，泵浦光源出射的泵浦光通过第一单模光纤耦合作用于工作物质并产生受激种子激光，受激种子激光在第一布拉格光栅和第二布拉格光栅组成的谐振腔内来回振荡增益，并从第二单模光纤输出连续的激光。本发明提供的光纤碱金属蒸汽激光器对光路的准直性要求低；谐振腔与工作物质一体化的设计免调节、免维护、稳定性高；整个设计体积小、重量轻，紧凑性好，利于移动；光纤端面输出激光利于与外部光路耦合。
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公开(公告)号：CN103064260A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210533926.8
申请日：2012-12-10
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种用于极紫外光刻机光源的锡液滴靶产生装置；该锡液滴靶产生装置包括第一储液器、压力装置、恒温控制器、真空喷射室、喷孔和均匀扰动装置；喷孔位于第一储液器底部与真空喷射室顶部之间，使得第一储液器与真空喷射室连通；在第一储液器与真空喷射室压力差的作用下，液体从喷孔喷出并形成射流柱；均匀扰动装置给第一储液器中的液体施加均匀扰动并使得射流柱断裂形成均匀液滴靶。本发明克服了气体靶的靶材密度对激光致等离子体极紫外辐射转换效率的限制，也相当大部分的改善了固体靶的靶材碎屑对光学元件的损伤；本发明产生的靶材液滴均匀、稳定，大小可控，方法简单可靠。
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公开(公告)号：CN103063411A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210544766.7
申请日：2012-12-13
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种高功率线偏振激光光束性能的测量装置；包括第一楔形镜，第一探测器和第二探测器；线偏振激光以布儒斯特角入射至第一楔形镜的外反射面上，入射光偏振方向在入射面内，反射光束光强为零，适当使楔形镜的外反射面有微小偏转，有少量激光经第一楔形镜的外反射面的反射光由第一探测器进行测量，经第一楔形镜的内反射面的反射光由第二探测器进行测量。而大部分透射的激光能量经过第二楔形镜后实现光斑无放大出射，其偏振特性不受影响。本发明采用楔形镜对入射激光进行分光，能够降低反射光束的能量及保持透射光束的偏振性，对激光光束多个参数进行同时测量。
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公开(公告)号：CN103049028A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210494571.6
申请日：2012-11-28
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G05F1/56
摘要： 一种用于高压磁开关复位的恒流源，属于功率电子技术，解决现有恒流源缺乏高压隔离电路的问题，以用于高电压脉冲场合。本发明包括全桥逆变器、谐振电路、整流桥、高频滤波电路、反馈电路和控制电路。本发明利用MOS场效应管工作在零电流状态，使得输入的能量可以近乎无损耗地传输给串联谐振电路；通过调节MOS场效应管周期可以调节输出电流的大小，输出具有恒流源的特性，无须在输出端提供额外的镇流电阻；采用由滤波电感、滤波电容、隔离二极管和钳位二极管组成的高频滤波电路，阻断了脉冲电源中磁开关或变压器的复位电路中耦合的高压脉冲的影响，确保了恒流源的安全性。
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公开(公告)号：CN103048112A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210524037.5
申请日：2012-12-07
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01M9/06
摘要： 本发明公开了一种脉冲气体激光器横流风机叶轮扰动的测量装置及方法，主要测量风机扰动。装置包括探测激光光源、扩束系统、二个分光镜、二个反射镜、光电探测器、数据采集器和处理器；二个分光镜和二个反射镜构成马赫泽德干涉系统，分光镜放置在被测流场区域的两端；探测激光光源、扩束系统和第一分光镜依次位于同一光路上，光电探测器位于第二分光镜的出射光路上。方法通过控制数据采样频率和样品数，对信号进行滤波后再进行FFT处理，将时域的周期性扰动信号转换为频域的信号，得到信号图谱以确定风机叶轮的扰动。本发明通过光学测量的方式获得风机转动的扰动信息，具有测量装置简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。
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公开(公告)号：CN102323445B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201110160097.9
申请日：2011-06-14
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： G01P5/26
摘要： 本发明属于速度光学测量技术领域，涉及的是测量流场速度的方法。本发明通过配备增强型电荷耦合(ICCD)成像器件，结合干涉法或纹影法装置系统来拍摄流场的分布规律，通过控制器的延时控制功能，拍摄得到热气团的发生及演化过程，将获得的图像进行数字图像处理，根据图像的特征得到热气团的中心线，对多帧图像处理得到热气团中心线随时间的变化规律，采用最小二乘法进行数据处理和误差估计，得到一维流场的速度分布信息，本方法采用非接触测量方法，能对流场速度进行实时测量，并得到整个一维速度分布信息，克服了现有技术中的不足和缺陷，具有很强的进步及实用性。
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