一种钙钛矿太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN114171683A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111469664.9

    申请日:2021-12-03

    IPC分类号: H01L51/44 H01L51/42 H01L51/48

    摘要: 本发明提供了一种钙钛矿太阳能电池,包括依次接触的衬底、DMD电极层、钙钛矿层、电荷传输层和电极层;所述DMD电极层包括依次接触的第一电介质层、金属层和第二电介质层;所述第一电介质层包括氧化锡、氧化钛、氧化锌、氧化钨、氧化钼和氧化镍中的一种或几种;所述第二电介质层包括氧化锡、氧化钛、氧化锌、氧化钨、氧化钼和氧化镍中的一种或几种;所述金属层包括金、银、铜和铝中的一种或几种。本发明在衬底上沉积DMD层,省去了前端电荷传输层的制备,且具有更优的导电性和适当的能级结构,在保证传输电荷作用的前提下,提高了电池的透过率、降低了电阻率并保证了衬底的柔性。本发明还提供了一种钙钛矿太阳能电池的制备方法。

    一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法

    公开(公告)号:CN113915971A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111497140.0

    申请日:2021-12-09

    IPC分类号: F26B9/06 F26B5/04 H01L21/67

    摘要: 本申请提供一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法,包括:工艺腔室和至少一个预抽腔室,工艺腔室用于放置待闪蒸基片,工艺腔室和预抽腔室相互连接,工艺腔室和预抽腔室的连接口处具有真空阀门,预抽腔室的气压值低于工艺腔室的气压值,预抽腔室的体积大于工艺腔室的体积,当真空阀门处于打开状态时,工艺腔室和预抽腔室连通,由于预抽腔室的体积大于工艺腔室且预抽腔室的气压小于工艺腔室,工艺腔室的气压值迅速降低,相较于将待闪蒸基片先放入工艺腔室,再抽真空去除溶剂的长耗时而言,利用已经预先抽好真空的预抽腔室,能够缩短工艺腔室中气压值的降低时间,以缩短去除膜层中残留溶剂的时间,提升残留溶剂去除效果,降低半导体器件制造成本。

    一种器件的制造方法
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113871537A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110977575.9

    申请日:2021-08-24

    IPC分类号: H01L51/44 H01L51/48 G03F7/42

    摘要: 本申请提供一种器件的制备方法,在衬底上形成太阳能电池层,在太阳能电池层远离衬底的一侧形成光刻胶层,在光刻胶层远离衬底的一侧覆盖有掩膜版,掩膜版具有栅线形状图案;在掩膜版的遮掩下进行曝光,以在光刻胶层中形成曝光区域,显影溶液中洗去曝光区域的光刻胶层,形成显影槽,在显影槽内和光刻胶层远离衬底的一侧形成金属层,对光刻胶层和金属层进行冷热循环,以使显影槽侧壁的金属层断裂,形成断裂口,去除光刻胶层和光刻胶层远离衬底一侧的金属层。即通过冷热循环使显影槽侧壁的金属层断裂,让光刻胶层表面的金属层和显影槽内的金属栅线断开,可促进有机溶剂和光刻胶的接触,提高脱膜效率,同时防止脱膜工序中将栅线去除,提高器件性能。