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公开(公告)号：CN208833705U
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201821630882.X
申请日：2018-10-01
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本实用新型涉及一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，属于气体检测领域。主要包括三根耦合的双端固支梁组成的双端固支梁耦合阵列以及一根参考梁组成，在第一根和第二根的双端固支梁中部表面沉积有对两种不同气体分别敏感的特异性薄膜，并在第三根双端固支梁以及参考梁中部表面沉积等质量的非敏感薄膜，在吸附气体前后通过检测阵列的模态改变量并求取实测局部化程度参数，定性判断气体存在情况，再定量求解出两种气体各自的浓度值。优点是结构新颖、体积小、检测灵敏度高、识别效率高、有利于微量气体的检测，可应用于重要公共场合有毒有害气体的预警。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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