公开(公告)号：CN113834430B

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202111120067.5

申请日：2021-09-24

申请人： 天津大学

发明人： 郭彤 ,  袁琳 ,  郭心远 ,  孙长彬

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01N21/41

摘要： 本发明属于光学精密测量领域，涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法，通过白光光谱相移测量，获得仅与薄膜自身相关的测量非线性相位，通过对薄膜进行垂直扫描，将所记录的白光光谱信号对波长积分，重建出白光垂直扫描数据，获得非线性拟合的约束条件，对根据反射系数的理论模型得到的理论非线性相位和测量非线性相位进行带有约束条件的非线性拟合，得到薄膜的厚度和折射率。本发明无需已知薄膜材料的色散模型、薄膜厚度和折射率的初值，可在同一系统中实现薄膜样品三维表面形貌的测量和薄膜厚度、折射率的测量。

公开(公告)号：CN113834430A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202111120067.5

申请日：2021-09-24

申请人： 天津大学

发明人： 郭彤 ,  袁琳 ,  郭心远 ,  孙长彬

IPC分类号： G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01N21/41

摘要： 本发明属于光学精密测量领域，涉及一种测量薄膜厚度和折射率的方法，通过白光光谱相移测量，获得仅与薄膜自身相关的测量非线性相位，通过对薄膜进行垂直扫描，将所记录的白光光谱信号对波长积分，重建出白光垂直扫描数据，获得非线性拟合的约束条件，对根据反射系数的理论模型得到的理论非线性相位和测量非线性相位进行带有约束条件的非线性拟合，得到薄膜的厚度和折射率。本发明无需已知薄膜材料的色散模型、薄膜厚度和折射率的初值，可在同一系统中实现薄膜样品三维表面形貌的测量和薄膜厚度、折射率的测量。

公开(公告)号：CN105668637A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201610011232.6

申请日：2016-01-05

申请人： 天津大学

发明人： 胡明 ,  王自帅 ,  王毅斐 ,  刘相承 ,  袁琳

IPC分类号： C01G41/02 ,  B82Y30/00

CPC分类号： C01G41/02 ,  B82Y30/00 ,  C01P2002/72 ,  C01P2004/03 ,  C01P2004/16 ,  C01P2004/62 ,  C01P2006/12

摘要： 本发明公开了一种氧化钨纳米棒束结构气敏材料制备方法，具有以下步骤：(1)陶瓷片基底的清洗；(2)配置六氯化钨反应溶液；(3)合成氧化钨纳米棒束结构；(4)分离、干燥；(5)制得氧化钨纳米棒束基敏感材料浆料；(6)气敏传感器元件的热处理。本发明采用溶剂热法在陶瓷片基底上制备了三氧化钨纳米棒束结构，提供了一种具有高灵敏度、优良的稳定性和易于微电子工艺技术兼容的可在低温下工作的氮氧化物气敏传感器。是一种制备具有较大的比表面积和较大的表面活性的氧化钨纳米棒束结构的方法。基于该氧化钨纳米棒束结构的气敏传感器可以实现对亚ppm至ppb级的二氧化氮气体的高灵敏度、高选择性的快速响应。

公开(公告)号：CN105628749A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610011641.6

申请日：2016-01-05

申请人： 天津大学

发明人： 胡明 ,  王自帅 ,  王毅斐 ,  刘相承 ,  袁琳

IPC分类号： G01N27/12

CPC分类号： G01N27/125

摘要： 本发明公开了一种低温工作的高灵敏度二氧化氮气敏材料的制备方法，具有以下步骤：(1)陶瓷片基底的清洗；(2)制备Pt的叉指电极；(3)制备反应溶液；(4)制备气敏传感器；(5)清洗反应后氧化铝基底；(6)气敏传感器元件的热处理。本发明以陶瓷片为基底，采用溶剂热法在基底上制备了三氧化钨纳米片结构，提供了一种制备具有较大的比表面积和表面活性的氧化钨纳米片结构的方法，所制得的气敏传感器具有高灵敏度、优良的稳定性和易于微电子工艺技术兼容。溶剂热法具有设备简单、操作方便、可重复性好、成本低廉等优点，同时这一材料在降低气敏传感器的工作温度、提高传感器的灵敏度和选择性方面有重要的实践和研究价值。