分束器装置、光源装置和扫描观测装置

    公开(公告)号:CN102597845A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201080048433.4

    申请日:2010-03-23

    IPC分类号: G02B21/06 G02B27/28

    摘要: 在将一个束分支为具有不同光学路径长度的多个束时,即使在所述束之间的相对角度不同时也能够利用简单结构将所述束沿光轴方向会聚于同一位置。提供一种分束器装置(1),包括将输入脉冲束分支到具有不同光学路径长度的两个光学路径中的分束器(13);设置在各自分支的光学路径(10,20)中并且中继所述光学路径(10,20)中的瞳孔的中继光学系统(16,17);复用位于所述两个光学路径(10,20)中的中继的脉冲束的分束器(14);以及对经由所述分束器(13)分支开的脉冲束赋予相对角度的反射光学系统(12)。