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公开(公告)号：CN108489859A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810603319.1
申请日：2018-06-12
Applicant: 山东大学
IPC: G01N11/00
Abstract: 本发明公开了一种抛光流体的配制与性能测试多功能系统及方法，包括一个框式结构主体，所述框式结构主体的顶部设有一个动力输出装置，所述的动力输出装置向下输出动力；在框架结构主体内设有一个升降台，所述的升降台能沿着设置在框架结构主体内的导向件上下滑动；在所述的升降台上设置流体配制模块或者性能测试模块。该多功能系统通过模块的更换，实现抛光流体的配制与性能测试的功能；伺服电机的速度通过控制器调整，根据不同种类抛光流体的配置需求来改变；进行流体性能测试时，伺服电机的转速范围即对应了量程。
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公开(公告)号：CN108747777B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201810601085.7
申请日：2018-06-12
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明提出了一种内循环式非牛顿流体抛光系统及方法，包括抛光流体循环系统和抛光机械系统；抛光机械系统包括抛光盘、公转系统和自转系统，公转系统驱动抛光盘公转，所述的自转系统驱动抛光盘自转；抛光盘包括抛光盘底座和抛光垫，所述抛光垫安装在抛光盘底座的下方，抛光盘底座与抛光垫之间有一定距离的缝隙，且在抛光盘底座的中心设有一个流体入口，在底座的外圈设有流体出口；抛光垫中心设有一个与所述的流体入口贯通的入流通道；抛光垫的底部设有流体微流道；沿着流体流动方向，流体微流道的始端与入流通道连通，末端与回流通道连通，回流通道与所述的流体出口连通；流体出口和流体入口与抛光流体循环系统相连。
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公开(公告)号：CN108747777A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810601085.7
申请日：2018-06-12
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明提出了一种内循环式非牛顿流体抛光系统及方法，包括抛光流体循环系统和抛光机械系统；抛光机械系统包括抛光盘、公转系统和自转系统，公转系统驱动抛光盘公转，所述的自转系统驱动抛光盘自转；抛光盘包括抛光盘底座和抛光垫，所述抛光垫安装在抛光盘底座的下方，抛光盘底座与抛光垫之间有一定距离的缝隙，且在抛光盘底座的中心设有一个流体入口，在底座的外圈设有流体出口；抛光垫中心设有一个与所述的流体入口贯通的入流通道；抛光垫的底部设有流体微流道；沿着流体流动方向，流体微流道的始端与入流通道连通，末端与回流通道连通，回流通道与所述的流体出口连通；流体出口和流体入口与抛光流体循环系统相连。
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公开(公告)号：CN208383647U
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201820909515.7
申请日：2018-06-12
Applicant: 山东大学
IPC: G01N11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种抛光流体的配制与性能测试多功能系统，包括一个框式结构主体，所述框式结构主体的顶部设有一个动力输出装置，所述的动力输出装置向下输出动力；在框架结构主体内设有一个升降台，所述的升降台能沿着设置在框架结构主体内的导向件上下滑动；在所述的升降台上设置流体配制模块或者性能测试模块。该多功能系统通过模块的更换，实现抛光流体的配制与性能测试的功能；伺服电机的速度通过控制器调整，根据不同种类抛光流体的配置需求来改变；进行流体性能测试时，伺服电机的转速范围即对应了量程。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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