光刻胶清洗装置及其清洗方法

    公开(公告)号:CN113917806A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111205307.1

    申请日:2021-10-15

    IPC分类号: G03F7/42

    摘要: 本发明提供了一种光刻胶清洗装置及其清洗方法,所述光刻胶清洗装置,包括溶解箱体、升降固定台、冲洗机构以及控制单元;所述溶解箱体包括用于盛装溶解液的溶解腔室;所述升降固定台置于所述溶解腔室内,用于承托硅片;所述冲洗机构包括冲洗喷头,该冲洗喷头置于高于所述升降固定台的上方空间处;所述控制单元用于控制所述升降固定台在溶解液液面上下之间切换,且用于控制所述冲洗机构移动到使其冲洗喷头对准所述升降固定台的位置。本发明的光刻胶清洗装置可通过控制单元控制溶解箱体、升降固定台及冲洗机构之间相互配合工作,以自动完成对未清洗的硅片清除残留的光刻胶,提高了生产效率与良品率,便于大规模应用。

    一种基于温度传感器的高效温度检测方法及温度传感器

    公开(公告)号:CN117606634A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311527316.1

    申请日:2023-11-15

    摘要: 本发明提出一种基于温度传感器的高效温度检测方法及温度传感器。一种基于温度传感器的高效温度检测系统包括探头模块及探头处理模块、显示模块,探头模块包含薄膜式传感器,无中间传导介质,探头处理模块包括数据采集模块、数据存储模块、模型构建模块、温度分析模块,通过薄膜式传感器获取相应的参数并结合数据采集模块的数据对温度值进行温差分析检测,输出最终的温度值显示在显示模块。本发明实现了传感器直接与外壳接触,传导速度快,提高了检测的效率,且结合了数据采集模块采集的其他数据,无需设计多个传感器提高检测精度,简便快捷地提高了温度检测地准确性。

    改性纤维素衍生物、其制备方法、感湿材料组合物以及感湿膜

    公开(公告)号:CN115594771B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202211311633.5

    申请日:2022-10-25

    摘要: 本发明公开了改性纤维素衍生物的制备方法、由该方法制得的改性纤维素衍生物、含有该改性纤维素衍生物的感湿材料组合物以及由该感湿材料组合物形成的感湿膜。改性纤维素衍生物的制备方法,包括:S1.将含有羟基的纤维素衍生物与第一溶剂混合均匀后,加入三乙胺,混合均匀,得到含有羟基的纤维素衍生物溶液;S2.将反应温度设为‑20~0℃后,将不饱和酰氯滴加至所述含有羟基的纤维素衍生物溶液中,滴加完毕后,将反应温度调节至20℃~25℃,继续进行反应,反应结束后,将反应产物进行干燥,得到含有双键的改性纤维素衍生物。本发明成功制备了基于纤维素衍生物的感湿膜,该感湿膜具有极佳的耐溶剂性和长期稳定性。

    一种阴极催化材料及其制备方法和其在电化学氧气传感器中的应用

    公开(公告)号:CN116124857A

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202211480529.9

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: G01N27/409

    摘要: 本申请公开了一种阴极催化材料,包括基体,所述基体为具有若干通孔的金属支撑层,所述金属支撑层具有上表面和下表面,在所述金属支撑层的上表面和下表面以及通孔侧壁上覆盖有金属催化剂膜层,使所述阴极催化材料具有多层膜结构。本申请所述的阴极催化材料以金属基材作为骨架构建疏松多孔的层状结构的催化层,增进气体与催化层以及电解液与催化层的接触,促进电极反应的进行,从而提升器件的气敏性能。本申请还公开了一种阴极催化材料制备方法及其应用。

    一种量热式流量传感器优化方法和流量传感器

    公开(公告)号:CN115859401A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211480349.0

    申请日:2022-11-24

    摘要: 本申请实施例公开了一种量热式流量传感器优化方法和流量传感器,涉及流量传感器的设计领域,该方法包括:采用COMSOL软件,建立需要求解的量热式流量传感器的初始几何物理模型;导入信号提取电路,将所述信号提取电路与所述初始几何物理模型相连;设置边界条件;划分网格并计算。本申请实施例将制作热敏电阻的悬膜干法蚀刻/湿法蚀刻的工艺、驱动电路、信号提取方式、流道设计、加热过程中热敏电阻三维空间中系数的变化、以及自然热对流过程中的系统热稳定时间、传感器的流道等多种强耦合的设计考虑在设计优化方法中,不但可以提升优化结果的可信性和实用性,而且还可以降低计算时长、提高计算效率。

    一种电容式湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115201284A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210586087.X

    申请日:2022-05-27

    IPC分类号: G01N27/22 H01G13/00

    摘要: 本发明公开一种电容式湿度传感器,包括硅晶圆和湿敏膜;所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的钝化层以及形成在钝化层上的金属电极;所述湿敏膜形成在所述金属电极表面;所述湿敏膜为含氟聚酰亚胺薄膜,所述含氟聚酰亚胺薄膜由含氟聚酰胺酸亚胺化而成,所述含氟聚酰胺酸的重均分子量Mw为50000以上。本发明还公开了一种电容式湿度传感器的制备方法。本申请采用高分子量的含氟聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜,由于氟原子具有将强的疏水性和低摩尔极化率,能有效降低湿敏膜的吸湿率和介电常数,改善产品的加工性能,从而达到减小湿度传感器的湿滞、降低湿度偏差的目的,提高湿度传感器的稳定性和测量精准。

    一种固态隔膜及其制备方法和设有其的气体传感器

    公开(公告)号:CN114594150A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202210100182.4

    申请日:2022-01-27

    IPC分类号: G01N27/409 C23C16/455

    摘要: 本发明涉及传感器及其部件的技术领域,公开了一种固态隔膜,包括衬底和贵金属层,所述贵金属层交替复合在衬底上,所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层;所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上,形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层,相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成,其制备的贵金属层结构厚度可控,不影响气体的透过率,且催化活性极高,响应速度快,同时贵金属层在衬底上的附着优良,能在长期高温环境和高浓度电解液下测试,且催化活性保持不变,大幅提高了传感器的使用稳定性,延长了使用寿命。

    一种电化学气体传感器
    30.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217133028U

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202220232862.7

    申请日:2022-01-27

    IPC分类号: G01N27/26

    摘要: 本实用新型公开了一种电化学气体传感器,包括壳体,壳体的顶部设有通孔,用于允许外界气体通入;壳体内设有反应腔,反应腔的顶部设有入口组件,所述入口组件设于通孔的进气方向上,用于允许待测气体通过;所述反应腔内设有电解液以及与所述电解液接触的电极组件,所述反应腔的下方设有线路板,所述线路板与电极组件连接,用于进行电学信号的转换。本实用新型通过在内部设置线路板,使传感器的体积小、集成度高;通过在固态隔膜上设置贵金属层,既可以使待测气体选择性通过,也可以作为待测气体反应的阴极和活性催化材料,提高了待测气体的反应速率;并通过在内部设置补偿电阻,解决了传感器受温度变化而使输出的电信号误差大的问题。