用于运行处理设备的方法和处理设备

    公开(公告)号:CN116472504A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202180073200.8

    申请日:2021-11-04

    Abstract: 为了提供一种用于运行用于工件处理的处理设备的方法,该方法在故障的情况下能够实现对至少单个工件完成处理或挽救,本发明提出,该方法包括:在正常模式下运行处理设备,在正常模式下用于工件处理的处理设备的一个或多个或所有设备参数处于预定的值范围之内;检测处理设备的故障;将处理设备置于受损模式下。

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