扭转谐振器和采用其的滤波器

    公开(公告)号:CN1977452A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200580021492.1

    申请日:2005-07-22

    Abstract: 一种扭转谐振器,其防止产生不必要的偏转振动,具有良好的谐振特性。一种振动器,其具有横梁结构或者向其上添加了桨状突起的横梁结构,将所述振动器设计为,由电极和振动器之间的电势差产生的静电力围绕所述振动器的横梁的轴施加力矩,但是不向所述横梁施加用于产生偏转振动的力。一种设计方法提供了这样一种配置,即向电极对上施加相同的AC信号和极性不同的DC偏置电压,所述电极对由在所述振动器的偏振振动的作用下加大了与所述振动器之间的距离的电极和在其作用下降低了其距离的电极构成,由此只激发了扭转振动。

    开关
    22.
    发明公开
    开关 失效

    公开(公告)号:CN1929067A

    公开(公告)日:2007-03-14

    申请号:CN200610126134.3

    申请日:2003-07-25

    Abstract: 本发明提供一种开关,它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4~9,靠静电力使各梁1~3的位置变化、使梁1~3间的静电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力,使两根梁都可动,从而梁1、2能高速地电耦合。另外,使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力,预先靠近第1根梁1及第2根梁2,一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除,第2根梁2向第3根梁3一侧移动,第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。

    微机电系统开关
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1875446A

    公开(公告)日:2006-12-06

    申请号:CN200480031843.2

    申请日:2004-12-20

    Abstract: 一种容易制造且表现出适当导通/截止(ON/OFF)电容变化率的精细MEMS开关。该MEMS开关包括:基板(46);导电梁(42),形成在基板的表面上;三层结构梁(B1、B2),形成在基板的表面上并且设置来与导电梁相对。该MEMS开关的特征在于,三层结构梁包括第一导电层(38、40)、第二导电层(30、32)和夹置在第一导电层和第二导电层之间的介电层(34、36),第一导电层与导电梁(42)相对,导电梁(42)和三层结构梁中至少一个由于静电力在平行于基板的平面上移位,使得导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触,以及其中,当导电梁(42)和第一导电层(38、40)彼此接触时,导电路径形成在导电梁(42)和第二导电层(30、32)之间。

    开关及开关的制造方法
    24.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1277282C

    公开(公告)日:2006-09-27

    申请号:CN03152236.X

    申请日:2003-07-30

    CPC classification number: H01H59/0009

    Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开,以确保信号传递效率和绝缘性,而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部,并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。

    可变电容元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1248273C

    公开(公告)日:2006-03-29

    申请号:CN03152235.1

    申请日:2003-07-30

    CPC classification number: H01G5/18 Y10T29/435

    Abstract: 本发明的可变电容元件由具有柔性的梁、以及为了在与梁之间形成电容而与梁接近设置的电极构成,在梁与电极之间加上电压,利用静电力使梁挠曲,使两者之间的电容量变化。使挠曲的梁与电极隔着至少在一方的表面上形成的绝缘层接触,通过使接触面积变化,而使电容量变化。另外,将电极分成多个电极,在1个电极形成凹下部分,使其比其它电极表面的高度要低,在梁与凹部对应的电极之间加上电压,将梁吸入凹下部分内,通过这样能够消除摩擦。

    开关及开关的制造方法
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1484266A

    公开(公告)日:2004-03-24

    申请号:CN03152236.X

    申请日:2003-07-30

    CPC classification number: H01H59/0009

    Abstract: 本发明揭示一种开关。将其活动电极上、下方向的驱动分开,以确保信号传递效率和绝缘性,而且进行信号通断的高速动作。该开关由活动电极、位于活动电极下部的固定电极和位于活动电极长边方向两侧面的活动电极驱动用的固定电极组成。活动电极的侧面形成凹部和凸部,并且在两端隔着空间配置具有对应的凹部和凸部的固定电极。

    开关
    28.
    发明公开
    开关 失效

    公开(公告)号:CN1476033A

    公开(公告)日:2004-02-18

    申请号:CN03133185.8

    申请日:2003-07-25

    CPC classification number: H01H59/0009 H01G5/40 H01H2001/0078 H01H2059/0027

    Abstract: 本发明提供一种开关,它能缩短响应时间及降低外加电压。该开关的构成包括为了对以互相稍微分开的间隔配置的第1根梁及第2根梁及第3根梁外加静电力而独立提供直流电位用的外加电压手段、及对各梁输入输出交流信号用的各梁上设置的电极4~9,靠静电力使各梁1~3的位置变化、使梁1~3间的电容量变化。通过使第1根梁1及第2根梁2间产生静电力,使两根梁都可动,从而梁1、2能高速地电耦合。使配置在第2根梁2对面的第3根梁3产生静电力,预先靠近第1根梁1及第2根梁2,一旦第1根梁1及第2根梁间的静电力解除,第2根梁2向第3根梁3一侧移动,第1根梁1及第2根梁2的电耦合解除。

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