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公开(公告)号：CN115699573A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202180040136.3
申请日：2021-06-02
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在位于腔上的压电膜不易产生裂纹的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，设置有压电膜(2)，在压电膜(2)上设置有IDT电极(10)，IDT电极(10)具有第1汇流条(5)以及第2汇流条(6)、至少一根第1电极指(3)、和至少一根第2电极指(4)，在将第1电极指(3)、第2电极指(4)在弹性波传播方向上重叠的区域设为交叉区域的情况下，在像下述的那样定义的点A2、点B2、点C2以及点D2处，在xa＜25μm、ya＜25μm、xb＜25μm、yb＜25μm、xc＜25μm、yc＜25μm、xd＜25μm、yd＜25μm时，点A2、B2、C2、D2全部处于腔的外侧。
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公开(公告)号：CN119032511A
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202380035092.4
申请日：2023-04-20
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/64
Abstract: 本公开的弹性波装置具备：串联臂，连接在输入端子与输出端子之间；至少1个并联臂，连接在串联臂与接地电位之间；和多个弹性波谐振器，包括配置于串联臂的1个以上的串联臂谐振器和配置于并联臂的1个以上的并联臂谐振器。多个弹性波谐振器具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；IDT电极，设置于压电层的一个主面；第1电介质膜，设置于压电层的一个主面；和第2电介质膜，设置在第1电介质膜上。串联臂谐振器的第1电介质膜以及并联臂谐振器的第1电介质膜中的一者的厚度比串联臂谐振器的第1电介质膜以及并联臂谐振器的第1电介质膜中的另一者的厚度厚。串联臂谐振器的第2电介质膜以及并联臂谐振器的第2电介质膜中的一者的厚度比串联臂谐振器的第2电介质膜以及并联臂谐振器的第2电介质膜中的另一者的厚度薄。
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公开(公告)号：CN117397166A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280038193.2
申请日：2022-05-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供能够高精度地进行频率调整的压电体波装置。本发明的压电体波装置(10)具备：支承构件(13)，包括支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，具有位于支承构件(13)侧的第一主面(14a)以及与第一主面(14a)对置的第二主面(14b)；IDT电极(11)，设置于压电层(14)的第一主面(14a)，具有一对包括多个电极指和连接多个电极指的一端的汇流条的梳齿状电极；及频率调整膜(17)，设置于压电层(14)的第二主面(14b)，在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在支承构件(13)设置有中空部(13a)。中空部(13a)在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在压电层(14)及频率调整膜(17)设置有多个过孔(28)。还具备分别设置在压电层(14)及频率调整膜(17)的过孔(28)内及频率调整膜(17)上且与梳齿状电极的各汇流条电连接的多个布线电极(第一、第二布线电极(25A、25B))。
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公开(公告)号：CN117280608A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202280031670.2
申请日：2022-02-07
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种不易产生特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：第1层(11)，包含支承基板(2)；第2层(12)，设置在第1层(11)上，包含压电膜(3)；和激励电极(4)，设置在第2层(12)上，在第1层(11)与第2层(12)之间设置有空洞部(7)，在第1层(11)和第2层(12)的层叠方向上，激励电极(4)的至少一部分与空洞部(7)重叠，面向空洞部(7)的第1层(11)的主面(6a)的表面粗糙度与面向空洞部(7)的第2层(12)的主面(6b)的表面粗糙度不同。
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公开(公告)号：CN117121376A
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202280023419.1
申请日：2022-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(10A)具备：具有相互对置的第一主面(12a)及第二主面(12b)的压电层(12)；设置在压电层(12)的第一主面(12a)及第二主面(12b)中的至少一个主面上的功能电极(14)；以及层叠于压电层(12)的第二主面(12b)侧的支承基板(11)。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，功能电极(14)的至少一部分被设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯穿压电层(12)而到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在贯通孔(19)的内壁(19b)，设置有沿着贯通孔(19)的深度方向延伸的凸部(20)。
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公开(公告)号：CN117083799A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025176.5
申请日：2022-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置具备：支承构件，具有支承基板；压电层，配置在支承构件上；第1谐振器，包含压电层的第1部分和设置在压电层的第1部分的第1功能电极；以及第2谐振器，包含压电层的第2部分和设置在压电层的第2部分的第2功能电极。弹性波装置具备：第1空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第1谐振器重叠；以及第2空洞部，设置在支承构件，在支承构件和压电层的层叠方向上的俯视下与第2谐振器重叠。弹性波装置具备：至少一个第1贯通孔，贯通压电层，并与第1空洞部连通；以及至少一个第2贯通孔，贯通压电层，并与第2空洞部连通。第1空洞部的体积大于第2空洞部的体积，至少一个第1贯通孔的总开口面积大于至少一个第2贯通孔的总开口面积。
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公开(公告)号：CN117083798A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280025170.8
申请日：2022-03-29
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 弹性波装置(10A)具备：压电层(12)，具有相互对置的第1主面(12a)和第2主面(12b)；功能电极(14)，设置在压电层(12)的第1主面(12a)以及第2主面(12b)之中的至少一个主面之上；和支承基板(11)，层叠在压电层(12)的第2主面(12b)侧。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。从支承基板(11)和压电层(12)的层叠方向观察，功能电极(14)的至少一部分设置为与空洞部(13)重叠。设置有贯通压电层(12)并到达空洞部(13)的贯通孔(19)。在压电层(12)的第1主面(12a)之中的、形成贯通孔(19)的外缘(19a)的区域，设置有比未设置贯通孔(19)的区域突出的凸部(20)。
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公开(公告)号：CN116888890A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202280011421.7
申请日：2022-01-24
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种声波设备，包括：支撑基板；压电层，在支撑基板上；第一电极和第二电极，沿支撑基板和压电层的层压方向位于压电层上，第一电极和第二电极在与层压方向交叉的第一方向上相对；以及空间，限定支撑基板的一部分中的空腔、或支撑基板和压电层之间的气隙。在层压方向上的平面图中，第一电极和第二电极中的每一个的至少一部分与空间重叠，并且支撑基板的与压电层相对的主表面的第一粗糙度大于压电层的第一电极和第二电极所位于的主表面的第二粗糙度。
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公开(公告)号：CN115428330B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180030021.6
申请日：2021-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 井上和则
Abstract: 目的：提供一种弹性波器件，其中，即使在减小弹性波器件的尺寸的情况下，Q值也不易降低，并且压电膜也不易发生破裂。解决方案：弹性波器件(1)包括层叠在支撑基板(2)的第一主表面(2a)上的压电膜(3)，支撑基板(2)包括向第一主表面(2a)开口的凹部(2b)。包括凹部(2b)的腔部(10)由支撑基板(2)和压电膜(3)限定。电极(4)位于压电膜(3)上。电极(4)包括第一母线(11)和第二母线(12)、连接到第一母线(11)的第一电极指(13)、以及连接到第二母线(12)的第二电极指(14)。当在俯视图中观察时，第一母线(11)和第二母线(12)包括位于腔部(10)内的角部。作为用于在第一母线(11)和第二母线(12)的角部中的至少一个角部处缓和压电膜(3)上的压力的压力缓和部的弯曲部(C1、C2或C3)设置在角部与腔部(10)的外边缘之间。
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