公开(公告)号：CN118730373A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410201432.2

申请日：2024-02-23

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 东条博史 ,  濑户祐希

IPC: G01L9/00

Abstract: [课题]抑制为了防止因过大压力而导致的隔膜破损而将隔膜按压在限制隔膜的位移的保护机构上时的传感器输出的变化。[解决方法]该压力传感器具备膜片(101)、应变测量部(102)、保护机构(103)，在比应变测量部(102)的形成部位靠内侧的区域的应变测量部(102)附近的保护机构(103)的与膜片(101)相对的面上，设置有槽(104)。保护机构(103)上形成的多个凸部(105)，形成在槽(104)的内侧区域的保护机构103的与膜片101相对的面上。

公开(公告)号：CN112649142B

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202011055138.3

申请日：2020-09-30

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 东条博史

IPC: G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种压力传感器，在同时测量多个压力的压力传感器中抑制由温度、静压引起的零点漂移。压力传感器(1)在传感器芯片(10)的内部形成有两个膜片(32、33)、以分别与膜片(32、33)的上表面相接的方式配置的成为第1压力导入室的凹陷部(40、41)、以及以分别与膜片(32、33)的下表面相接的方式配置的成为第2压力导入室的凹陷部(30、31)。进而，以在被施加至膜片(32(33))的上表面和下表面的压力之差为零时，使由设置于膜片(32(33))的应变片(34‑1～34‑4(35‑1～35‑4))构成的惠斯通电桥电路的输出电压成为零的方式，将空洞(220(230))设置于传感器芯片(10)。

公开(公告)号：CN110779654B

公开(公告)日：2021-07-06

申请号：CN201910664731.9

申请日：2019-07-23

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 德田智久 ,  东条博史 ,  木田希

IPC: G01B7/16 ,  G01L13/06

Abstract: 本发明的压力传感器芯片抑制传感器隔膜在传感器隔膜于阻挡构件触底之后异常变形。在阻挡构件的曲面状的凹部设置槽图案区域(#1)和无槽图案区域(#2)。无槽图案区域(#2)分成环状的第1区域(#21)和环状的第2区域(#22)，在传感器隔膜对阻挡构件的曲面状的凹部触底时，所述环状的第1区域(#21)与传感器隔膜密接，且所述环状的第2区域(#22)位于环状的壁的内壁面(1‑5a)与环状的第1区域(#21)之间。由此，以第1区域(#21)作为密封区域，以第2区域(#22)作为封闭区域，环状的壁的内壁面(1‑5a)侧的空间内残留的压力传递介质被封闭到封闭区域(#22)内，从而抑制传感器隔膜异常变形。

公开(公告)号：CN112649139A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN202011056960.1

申请日：2020-09-30

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 德田智久 ,  米田雅之 ,  东条博史 ,  津岛鲇美 ,  木田希

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L13/06 ,  G01L19/04

Abstract: 本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件的传感器芯片(10a)具备：第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42)；第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43)；第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47)、槽(35、53)以及凹陷部(33、50))，其将第1压力传递至膜片(42)；以及第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51))，其将第2压力传递至膜片(42、43)。在利用等效电路表示第1、第2压力向膜片(42、43)的传递时，第1压力的传递路径与第2压力的传递路径对称。

公开(公告)号：CN102252798B

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201110097578.X

申请日：2011-04-13

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 德田智久 ,  东条博史 ,  木田希

IPC: G01L9/06 ,  G01L13/06

CPC classification number: G01L9/0054 ,  G01L9/0047 ,  G01L9/065 ,  G01L15/00 ,  G01L19/02

Abstract: 本发明提供小型且高性能的压力传感器。该压力传感器具备：传感器芯片(10)；设置于传感器芯片(10)中央部的差压用隔膜(4)；设置于差压用隔膜(4)上的差压用测定元件(5)；设置于差压用隔膜(4)的外周部的静压用隔膜(17)；配置于静压用隔膜(17)端部的第1静压用测定元件(16d)；以及配置于静压用隔膜(17)的中央部的第2静压用测定元件(15b)。