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公开(公告)号:CN110875271A
公开(公告)日:2020-03-10
申请号:CN201910481256.1
申请日:2019-06-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L21/48
Abstract: 本发明提供半导体芯片及其制造方法。半导体芯片包含:衬底;层间绝缘层,包含位于衬底的上表面上的底部层间绝缘层和位于底部层间绝缘层上的顶部层间绝缘层;蚀刻终止层,位于底部层间绝缘层与顶部层间绝缘层之间;接地焊盘,位于层间绝缘层上;以及贯通孔,经由衬底、层间绝缘层以及蚀刻终止层连接到接地焊盘。蚀刻终止层经隔离以免与接地焊盘直接接触。
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公开(公告)号:CN100524265C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200580017727.X
申请日:2005-05-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F13/12
CPC classification number: H04L63/0869 , G06F9/544 , G06F21/10 , G06F21/79 , H04L63/0428
Abstract: 提供一种在便携式存储装置和数字装置之间运行多个应用的设备和方法。该方法包括:打开通过物理信道从数字装置到便携式存储装置的至少两个逻辑信道;通过打开的逻辑信道在数字装置的多个应用和便携式存储装置的多个应用之间发送和接收数据;以及在完成数据的发送和接收后关闭逻辑信道。
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公开(公告)号:CN100517297C
公开(公告)日:2009-07-22
申请号:CN200580009068.5
申请日:2005-03-14
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F17/00
CPC classification number: G06F21/10 , G06F21/445 , G06F21/78 , H04L9/3268 , H04L63/0823 , H04L63/0869 , H04L2209/603
Abstract: 一种数字权限管理方法,包括:用于装置通过连接到便携式存储器来更新装置的证书撤销列表的阶段,访问更新的证书撤销列表以判断便携式存储器的有效性的阶段,以及如果所述判断证明了便携式存储器的有效性,则保持与便携式存储器通信的阶段。
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公开(公告)号:CN1985252A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200580023400.3
申请日:2005-07-06
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F17/00
CPC classification number: G06F21/10 , G06F17/30905 , G06F2221/0759 , G06F2221/2129 , G06F2221/2153 , G11B20/00086 , G11B20/0021 , G11B20/00543 , G11B20/00731 , Y10S705/902
Abstract: 一种在装置和便携式存储装置之间发送和接收转换格式的数字版权对象的设备和方法。所述用于处理数字版权对象的设备包括:发送/接收模块,从权限发布者接收以标记语言表达的版权对象;版权对象转换模块,将版权对象转换成具有用于与便携式存储装置通信的格式的帧;接口,与便携式存储装置连接;和控制模块,通过接口将所述帧提供给便携式存储装置,以及通过接口从便携式存储装置接收转换格式的版权对象。
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公开(公告)号:CN1961370A
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:CN200580017720.8
申请日:2005-05-30
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G11B20/10
CPC classification number: G06F21/10 , G06F2221/0777 , G06F2221/0793 , G11B20/00086
Abstract: 提供了一种基于便携式存储器和装置间的数字权限管理(DRM)重放内容的方法及其便携式存储器。使用便携式存储器重放内容的方法包括:请求便携式存储器发送重放通过数字权限管理(DRM)保护的内容的权限,从便携式存储器接收所述重放通过DRM保护的内容的权限,当完成使用所述权限重放通过DRM保护的内容时,将重放的完成通知给便携式存储器。
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公开(公告)号:CN1961311A
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:CN200580017517.0
申请日:2005-05-24
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F17/00
CPC classification number: G06F21/10 , G06F2221/0759
Abstract: 提供了一种在装置和便携式存储器之间传输权限对象信息的方法和设备。该方法包括:从装置向便携式存储器发送预定请求;使用便携式存储器产生包括由该请求指定的权限对象的信息的当前许可状态格式;和从便携式存储器向装置发送所述当前许可状态格式。根据该方法和设备,当在装置和便携式存储器之间传输权限对象信息时减小了开销并增加了信息传输速度。
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公开(公告)号:CN1934564A
公开(公告)日:2007-03-21
申请号:CN200580009068.5
申请日:2005-03-14
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G06F17/00
CPC classification number: G06F21/10 , G06F21/445 , G06F21/78 , H04L9/3268 , H04L63/0823 , H04L63/0869 , H04L2209/603
Abstract: 一种数字权限管理方法,包括:用于装置通过连接到便携式存储器来更新装置的证书撤销列表的阶段,访问更新的证书撤销列表以判断便携式存储器的有效性的阶段,以及如果所述判断证明了便携式存储器的有效性,则保持与便携式存储器通信的阶段。
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公开(公告)号:CN112018028B
公开(公告)日:2024-07-05
申请号:CN202010078912.6
申请日:2020-02-03
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/768 , H01L23/48
Abstract: 公开了制造半导体装置的方法。所述方法可以包括形成包括金属图案的第一结构和在第一结构上的第二结构。金属图案包括面对第二结构的上表面。所述方法还可以包括:蚀刻第二结构以形成暴露金属图案的过孔;使过孔中的第一蚀刻残余物氧化以将第一蚀刻残余物转化为氧化的第一蚀刻残余物;以及去除氧化的第一蚀刻残余物。在去除氧化的第一蚀刻残余物之后,金属图案的上表面可以包括包含凹槽并具有第一表面粗糙度的第一部分和与第一部分不同并具有第二表面粗糙度的第二部分。第一表面粗糙度可以比第二表面粗糙度大。
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公开(公告)号:CN117637484A
公开(公告)日:2024-03-01
申请号:CN202311058461.X
申请日:2023-08-21
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/48 , H01L21/321 , H01L21/66 , H01L23/544 , H01L27/02
Abstract: 提供了一种晶片的制造方法,该方法包括以下操作:制备包括半导体芯片区域和测试区域的晶片,用原子力显微镜(AFM)测量测试区域中包括的测量区域,测量区域包括具有恒定线宽和恒定间距的多条金属线;基于测量区域的测量结果来确定测试区域的表面粗糙度值;基于表面粗糙度值来确定测试区域的金属线的阶梯差值;以及基于金属线的阶梯差值来确定半导体芯片区域中的接合焊盘的阶梯差值。
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