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公开(公告)号：CN104248421A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201410495910.1
申请日：2014-09-24
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京大学口腔医学院
IPC分类号： A61B5/00
摘要： 本发明公开了一种种用于牙龈血流监测的反射式光电传感器以及该反射式光电传感器的制备方法。本发明通过改变发光二极管与光电接收芯片的排布，使得光电接收面积增大，从而将反射方式采集的信号在测量精度、抗干扰、稳定性等方面性能提高。本发明还通过涂抹二氧化硅和氮化硅能够避免由于传感器漏电问题导致使用者受到伤害。采用环形电极，可以根据印制电路板电极引出位置选择相应的正电极和负电极的引出位置，避免了以往仅仅设定几个点的正电极和负电极带来的布局局限性。
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公开(公告)号：CN103219918A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201210019543.9
申请日：2012-01-20
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： H02N2/18
摘要： 本发明公开了一种基于微穿孔板结构的噪声发电器件，涉及降噪技术与能量收集技术，包括微穿孔硅片、导电支架、敏感压电薄膜、引出电极、薄膜支撑体。微穿孔硅片是吸声降噪的结构；导电支架既可形成共振吸声结构所需的空腔，又可作为连接压电薄膜上电极的结构；下方具有压电薄膜的硅片一方面将共振腔封闭，另一方面硅片上悬空的压电薄膜能够在声波的作用下不断振动，产生极化电荷，并通过上下两层薄膜电极将电荷收集起来。本发明利用微机械电子加工技术，将硅片制作成微穿孔板结构以降低噪声，同时将噪声中所包含的声能作为能量收集器件的能量来源，将声能转化为电能，使降噪与发电互为促进，具有结构简单、可批量制备的特点。
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公开(公告)号：CN101769936B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200910076561.9
申请日：2009-01-07
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明公开了一种拖动力原理和热线原理集成式微型风速传感器，涉及传感器技术，包括：热式测量风速部分，其双端固支悬梁支撑热线电阻，热线电阻用作测量，风吹热线后热线电阻发生变化，通过测量热线电阻的变化测量风速，热线电阻对小风速的测量有很高灵敏度。还包括：机械式测量风速部分，其薄板是迎风结构，敏感梁用作测量，风吹薄板使敏感梁弯曲，通过测量敏感梁弯曲程度来测量不同方向风作用力大小；应变传感器覆于敏感梁上，把梁弯曲信号转变为可测量电信号。本发明传感器是用热式和机械式两种原理结合测量风速，对大小风速都具高灵敏度；封装体积小。可广泛用于国防航空、气象环境、交通运输、工业制造、农业生产等方面。
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公开(公告)号：CN101614752B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810115623.8
申请日：2008-06-25
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G01P5/08
摘要： 本发明提出了一种微型电容式风速传感器，包括：薄板、电极、支撑柱、引出电极和衬底。薄板是被风吹动的敏感结构；两个电极分别和薄板构成电容器，两个电容器串联，其等效电容由引出电极引出，用作测量结构；风力作用使薄板发生弯曲形变，引起电容器极距的变化，电容传感器将极距变化信号转变为可以测量的电信号；支撑柱提供薄板和衬底的固定连接并为薄板提供支撑，衬底作为整个传感器的支撑结构。本发明传感器的特点是采用电容信号测量风速信息，具有结构简单、功耗小、响应快、温漂小等优点。该传感器可广泛应用于航空航天、工农业生产和气象应用等领域。
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公开(公告)号：CN100420021C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200510063802.8
申请日：2005-04-07
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 一种基于聚合物材料的单片集成温度、湿度、压力的传感器芯片。在基片上制作出平行极板和三个电阻，其中平行极板是测量湿度的电容的一个电极，电阻作为测量压力的应变电阻和测量温度的热敏电阻。在平行极板上和电阻上制作一层聚合物，分别作为电容电介质感湿和弹性膜感知压力。在感湿电介质聚合物上有网格状极板，作为电容的另一个电极。在压力敏感膜上有和基片上制作的应变电阻结构相同电阻，上下电阻构成测压电桥。在压力敏感膜下面为空腔，可以真空密封，测量绝对压力。集成芯片上的单个电阻测量温度，平行极板电容测量湿度，压力敏感膜上下面的应变电阻测量压力。
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公开(公告)号：CN101051419A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200610011731.1
申请日：2006-04-05
申请人： 中国科学院电子学研究所
IPC分类号： G08G1/01 , G08G1/052 , G08G1/0962 , G08C17/02
摘要： 本发明涉及无线网络应用技术领域，特别是一种基于无线传感器网络的道路与车由埋入地基的智能路标传感器节点、车载移动节点、固定位置的无线测速传感器节点、监控基站和远程服务器组成，监控基站汇聚所有采集和接收到的网络信息，通过有线网络发送至远程服务器，实现交通系统的网络化管理。系统方法包括路况检测方法、车速检测方法和车路交互方法，车路交互方法反映了车路交互系统的特征，系统运行的总流程体现该方法的实施细节，车路交互系统从总体上分成智能路床网络和测速网络，智能路床网络负责路况检测，测速网络负责车速检测和超速警告与记录，这两种网络采集的数据传送至监控基站和远程服务器。
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公开(公告)号：CN108577845B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201810351550.6
申请日：2018-04-18
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本公开提供了一种节流件、差压式肺功能参数监测装置及流量确定方法。该多孔节流件包括管和节流孔板，其中，管用于形成气流通道；节流孔板，设于所述管内，包括：多个第一组件，该多个第一组件与所述管同轴排布；以及多个第二组件，在所述管内呈放射状分布；由此，通过所述多个第一组件和多个第二组件在所述气流通道内形成多个管状节流孔。本公开提供的节流件、差压式肺功能参数监测装置及流量确定方法，结构简单，成本低，对直管段的长度要求降低，测量范围更宽，有效改善了呼气/吸气过程中高流速情况下出现的涡流，实现了气流的平衡，提高了重复性和可靠性。
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公开(公告)号：CN108923765B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201810983981.4
申请日：2018-08-27
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 一种MEMS薄膜体声波谐振器，包括对称设置的两个谐振单元，每一个谐振单元包括：谐振结构，为环形或块状；支撑结构，用于支撑谐振结构；和耦合结构，与所述谐振结构连接，MEMS薄膜体声波谐振器工作时，在耦合结构上施加耦合静电电压，两个谐振单元的两个耦合结构之间形成弱耦合。本发明在常规MEMS薄膜体声波谐振器的基础上，通过设计两个谐振单元的弱耦合结构，可实现高灵敏检测和抑制共模干扰。
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公开(公告)号：CN111721814A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910225631.6
申请日：2019-03-22
申请人： 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明公开了一种基于谐振式脱附的湿度传感器，包括：带有空腔的衬底；衬底上附着带有同样空腔的绝缘层；第一谐振电极，覆盖于衬底和绝缘层的空腔上；压电功能层，覆盖于第一谐振电极和衬底绝缘层之上；第二谐振电极，附着于压电功能层上，结合第一谐振电极和压电功能层作为谐振模块，实现机械振荡脱湿，该第二谐振电极结合湿敏介质层和上电极作为测湿模块，实现感湿测量；湿敏介质层，垂直堆叠于谐振模块形成的谐振区域，实现感湿测量；以及上电极，垂直堆叠于谐振模块形成的谐振区域，实现感湿测量。本发明利用谐振式机械脱湿，与传统的加热脱湿方式相比，避免了受热不均匀和加热后恢复慢等问题，可以快速初始化并提高湿度响应速度。
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公开(公告)号：CN109646005B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201811507344.6
申请日：2018-12-10
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 中日友好医院
IPC分类号： A61B5/091
摘要： 本发明公开了一种用力肺活量计算方法，应用于医学技术领域，该方法包括：对待处理的呼吸信号进行采样和滤波，得到数字滤波信号，并记录数字滤波信号中各采样点对应的采样时间，查找数字滤波信号中各脉冲内的波峰值点，以及，波峰值点对应的采样时间，基于波峰值点和波峰值点对应的采样时间，计算用力肺活量。本发明还公开了一种用力肺活量计算装置、电子设备及存储介质，可提高用力肺活量计算结果的准确性。
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