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公开(公告)号：CN111777062A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN202010552898.9
申请日：2020-06-17
Applicant: 南方科技大学
IPC: C01B32/186
Abstract: 本发明属于石墨烯材料技术领域，具体涉及一种双层石墨烯及其制备方法。本发明通过将金属衬底进行升温处理和退火处理，且升温处理的步骤中，在温度升至750℃之前通入还原性气体对金属衬底进行预处理，以尽可能避免金属衬底发生表面氧化，使金属衬底可以继续发挥催化作用，催化碳源裂解生成碳原子，在金属衬底表面沉积生长双层石墨烯。本发明制备方法制备得到的双层石墨烯为全双层石墨烯，且结构均匀、稳定，具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117053438B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202310958313.7
申请日：2023-07-31
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请涉及制冷设备技术领域，公开了一种花洒式液氦蒸发器以及制冷机，包括：液氦装载主体，其内设置有内腔，内腔具有蒸发开口，内腔内用于装液氦；控温加热组件，控温加热组件连接在液氦装载主体上，并用于感温且加热以使液氦形成蒸气；蒸气流量调节件，蒸气流量调节件连接在内腔的蒸发开口处，并通过活动而调节与蒸发开口的缝隙大小；气流分散部，气流分散部设置在蒸发开口的外侧，并用于打散蒸气气团。解决现有技术中的蒸气太集中，导致无法均匀吸收周围热量，没有最大限度地利用显热，导致蒸气的显热利用不充分、资源浪费的问题。
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公开(公告)号：CN117010510A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202311128578.0
申请日：2023-08-30
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请公开一种离子阱芯片、离子运动方法及电子设备，涉及量子计算的技术领域。离子阱芯片，包括芯片主体、多路数据电路。芯片主体上包含有多个电极，多个电极中至少部分电极的电压不同；多路数据电路包括一个输入端、多个输出端和控制端，多路数据的输入端用于接收输入信号，多路数据的控制端用于接收控制信号，多路数据电路的一个输出端与一个所述电极一一对应连接，多路数据电路的不同输出端与不同的所述电极连接；多路数据电路用于根据接收的控制信号，输入信号从与所述制信号对应的输出接口输出。该离子阱芯片只需要设置多路数据电路中用于接收输入信号和控制信号的引脚，从而大幅度降低离子阱芯片所需的引脚数量。
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公开(公告)号：CN116908488A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310688030.5
申请日：2023-06-09
Abstract: 本发明公开了一种扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法及相关设备。方法包括：获取第一成像图和第一聚焦参数，将所述第一成像图分成多个第一子图；获取第一目标子图，根据所述第一目标子图的位置和所述第一聚焦参数获取第二聚焦参数；根据所述第二聚焦参数扫描所述第二聚焦参数对应的位置的样品，得到多个第三目标子图，将所述第一目标子图和第三目标子图合并，得到输出成像图。本发明提供的扫描电镜的三元函数拟合动态聚焦方法可以更快速简单的得到更清晰的所述输出成像图，解决了现有技术中当电子束在扫描场扫描时，扫描场边缘区域图像质量模糊的问题。
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公开(公告)号：CN116736645A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310615179.0
申请日：2023-05-29
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明所提供的一种基于特征点的电子束光刻邻近效应图形校正方法，包括：获取目标原始设计图，确定目标原始设计图中的各个原始特征点，并计算每个原始特征点的曝光能量；确定每个原始特征点的曝光能量与显影阈值范围之间的关系；根据每个原始特征点的曝光能量与显影阈值范围之间的关系对各个原始特征点进行校正，得到曝光能量处于显影阈值范围内的目标特征点；获取所有原始特征点对应的目标特征点，根据各个目标特征点生成校正后的校正结果图形。本发明通过将原始设计图离散化成原始特征点，计算原始特征点的曝光能量，从而对原始特征点进行校正，提高了校正精度，解决了常用的图形校正方法中存在的通用性较差以及校正精度较低的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116482945A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310466613.3
申请日：2023-04-19
IPC: G03F7/30
Abstract: 本申请提供一种自动低温显影装置，包括显影仓、显影机构和传送机构，显影仓用于隔离显影样品的显影环境，显影机构包括用于盛放显影液的显影容器和用于控制显影液温度的第一温控组件，第一温控组件安装于显影容器上，显影容器安装于显影仓内，传送机构用于将显影样品传输至显影容器内，传送机构安装于显影仓内。本申请的自动低温显影装置，具有可控制显影液的温度、显影效果较好的优点。
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公开(公告)号：CN115389032A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211048508.X
申请日：2022-08-29
Applicant: 南方科技大学
IPC: G01J11/00
Abstract: 本申请公开一种超导探测单元、超导探测器及超导探测系统，涉及超导探测的技术领域。该超导探测单元，包括电感、第一电容和衬底。电感用于接收待探测光信号，产生电信号；第一电容包括第一电极、第二电极；衬底上设置有凹槽，在衬底设置有凹槽的表面设置有第二电极，第二电极在凹槽处向下凹陷，第二电极覆盖在凹槽的内表面，第二电极上设置有电介质层，电介质层上覆盖有第一电极，第一电极和第二电极分别与电感连接，电感位于衬底的上表面。由于将第一电容设置在凹槽内，使第一电容在衬底上占据的面积更小，降低了单个超导探测单元的面积，在同样面积的超导探测器阵列中，能布置更多的超导探测单元，提高了超导探测的分辨率，从而提高成像分辨率。
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公开(公告)号：CN115370559A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211102099.7
申请日：2022-09-09
Applicant: 南方科技大学
IPC: F04B45/027 , F04B37/18
Abstract: 本发明公开了一种金属波纹管式特种气体压缩机，包括：外壳；进气机构和排气机构，均设置于外壳；金属波纹管和托盖，金属波纹管的两端分别与外壳、托盖密封连接；驱动组件，与托盖连接，并驱动托盖移动。驱动组件推动金属波纹管的端头的托盖。当金属波纹管被下拉伸展时，金属波纹管的内部压力降低，进气通道打开，特种气体进入到金属波纹管的内部。当金属波纹管被向上压缩时，当然金属波纹管内的特种气体也同样被压缩，压力提高，排气通道打开，经过增压的特种气体从排气管排出，进入所供给的低温系统中，本发明的压缩机密封性极好，且不需要使用润滑油，不会因润滑油引入杂质。
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公开(公告)号：CN115318031A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210886797.4
申请日：2022-07-26
Applicant: 南方科技大学
Abstract: 本申请公开了一种高纯度氦三气体净化与氢提取装置及方法，其中，该高纯度氦三气体净化与氢提取装置包括真空腔装置、净化部件、除氢部件以及制冷装置，净化部件通过制冷装置制冷至第一预设温度，除氢部件通过制冷装置制冷至第二预设温度，在第一预设温度下，高纯度氦三气体进入净化部件进行过滤，之后，在第二预设温度下，高纯度氦三气体进入除氢部件进行去除氢气。本申请中在第一预设温度下通过净化部件对高纯度氦三气体进行过滤，之后在第二预设温度下通过除氢部件对高纯度氦三气体进行去除氢气，用以实现对高纯度氦三气体进行去氢提纯的效果，结构简单，容易实现，能够保证氦三气体在超低温设备中正常使用。
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公开(公告)号：CN114001093A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111390907.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 南方科技大学
IPC: F16C29/06
Abstract: 本发明公开了一种线性滑轨，其中，包括中空轨道和在所述中空轨道内滑动的滑块，所述中空轨道的横截面形状为具有偶数条边的多边形，所述中空轨道上开设有支撑口；所述滑块包括主体和沿着所述主体的长度方向排列的至少两个平面支撑轴承，所述平面支撑轴承安装在所述中空轨道对称的两边之间，并且所述平面支撑轴承的直径值小于所述中空轨道上对称的两边的间距值。本申请公开的线性滑轨通过设置平面支撑轴承的直径值比中空轨道上对称的两边的间距值小，从而滑块滑动时与轨道之间留有间隙，在碰到轨道的转弯处或者障碍处时，有空间可以进行调整，使滑块在轨道上移动时可以克服缺陷障碍，容易转弯，增加滑块的灵活度，解决运行不畅的问题。
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