公开(公告)号：CN112857639A

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN202110187585.2

申请日：2021-02-18

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘延芳 ,  齐乃明 ,  穆荣军 ,  倪晨瑞 ,  佘佳宇 ,  周芮 ,  杨云飞 ,  霍明英 ,  赵钧 ,  杜德嵩

IPC: G01L1/26 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明公开了一种伺服增量式高精度压力传感器及其使用方法，属于压力传感器技术领域。伺服增量式高精度压力传感器包括加载台、压力传感器、气囊、微位移驱动器、微位移传感器和基座，气囊的下侧安装在基座的上表面上，气囊的上侧支撑加载台，微位移驱动器和微位移传感器以气囊为中心周向设置在基座的上表面上，压力传感器与微位移驱动器一一对应，且每个压力传感器均由对应的微位移驱动器支撑，压力传感器的上侧支撑加载台。本发明提高了整体的测量精度，实现了载荷增量的高精度测量。