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公开(公告)号：CN110412055A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910371804.5
申请日：2019-05-06
Applicant: 天津大学
IPC: G01N21/958
Abstract: 本发明涉及一种基于多光源暗场照明的透镜白雾缺陷检测方法，包括下列步骤：将待检测透镜放置在暗场内，在透镜周边不同位置布置三个以上的光源；令各个光源逐一亮起，利用具有远心镜头的工业相机依次拍摄多张透镜的原始图像，每张原始图像的有效检测区域分别对应某个光照角度的光源打光条件下的拍摄范围，不同方向的打光条件，有效检测区域也相应发生变化；对于每张原始图像，利用图像中透镜前景与背景的差异，得到二值图像；进行连通域运算，获取由白色像素组成的透镜前景；设置感兴趣区域；使用动态阈值处理算法实现透镜白雾缺陷的检测；得到整个镜片白雾区域。
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公开(公告)号：CN107052462B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201710358648.X
申请日：2017-05-19
Applicant: 天津大学
IPC: B23D79/00
Abstract: 本发明涉及一种脆性材料复杂曲面快速伺服超精密飞刀切削加工方法，包括下列步骤：搭建快速伺服机构与飞刀切削结合的加工系统；当对被加工器件进行飞刀加工时，主轴每旋转一次刀具有最接近被加工器件的一个区域，在该区域时，由于飞刀主轴转速不变，在刀具与工件表面接触时，通过快速伺服机构带动工件进行切深方向单自由度或切深方向与横向进给方向的多自由度高频运动以配合飞刀旋转，形成阵列结构和复杂表面的加工；设计合适切削参数和刀具几何参数；通过对伺服运动与飞刀回转角度的控制实现运动同步，使得对材料进行切削时，切削背吃刀量得到可控，最终刀具运动轨迹在被加工器件表面进行快速平滑的遍历运动。
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公开(公告)号：CN109194851A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811011743.3
申请日：2018-08-31
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种小型化超短焦视觉成像系统，包括排布在一个平面上的多个成像子镜头，照明光源和图像处理模块及显示模块，其特征在于，每个成像子镜头口径约为Φ5mm，包括透镜基座，固定在透镜基座上的成像透镜以及成像传感器，每一个成像子镜头周边布置照明光源，根据工作距离和交叠区域范围选择子透镜是否进行成像，当作用距离较近时，选用更多的或全部的成像子镜头进行成像，当作用距离较远时，选择较少的子镜头进行成像，以保证有交叠区域进行后续的图像拼接。
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公开(公告)号：CN109047033A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810680654.1
申请日：2018-06-27
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种滚动体全表面缺陷检测方法，包括：滚动体滚动过程中，滚动体表面依次呈现在相机视场中，相机拍摄多帧图像，从而获取到滚动体三维表面全部信息；对各帧图像进行二值化处理，滚动体在图像中对应为白色，缺陷部分在图像中对应为黑色；进行连通域运算，通过连通域运算得到白色区域所在的位置，即滚动体位置；通过连通域运算和凸缺陷检测进行缺陷件识别，当缺陷位于滚动体内部，黑色区域形成闭合区域，设定面积阈值，若通过连通域运算检测到闭合区域的面积大于此面积阈值，判断存在滚动体内部缺陷；当缺陷位于滚动体边缘，影响滚动体轮廓形状，通过凸缺陷检测算法识别此类缺陷。
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公开(公告)号：CN109001229A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810680676.8
申请日：2018-06-27
Applicant: 天津大学
IPC: G01N21/952
Abstract: 本发明涉及一种圆锥滚子外圆表面缺陷检测装置，包括相机、光源、传送机构和用来驱动传送机构移动的驱动机构，相机用于在光源的配合下拍摄滚动体滚动过程中的图像，其特征在于，在传送机构上沿待检滚动体前进方向开设有与待检滚动体的尺寸及位置相配合的至少一个孔槽通道，且传送机构置于固定不动的底板上；所述的待检滚动体为圆锥滚子，所述的传送机构为梯形孔槽阵列结构转盘，所述的驱动机构为电动转台，所述的孔槽通道由多个以转盘圆心为中心排布的多个梯形孔槽构成，梯形孔槽根据圆锥滚子的尺寸和几何结构特点而设计，在电动转台带动梯形孔槽阵列结构转盘转动时，由于圆锥滚子与底板之间的摩擦力，圆锥滚子在孔槽内翻转。
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公开(公告)号：CN108896569A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810678324.9
申请日：2018-06-27
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明涉及一种滚动体全表面缺陷检测装置，包括相机、光源、传送机构和用来驱动传送机构移动的驱动机构，相机用于在光源的配合下拍摄滚动体滚动过程中的图像。其特征在于，在传送机构上沿待检滚动体前进方向开设有与待检滚动体的尺寸及位置相配合的至少一个孔槽通道，且传送机构置于固定不动的底板上。
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公开(公告)号：CN116183623A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310008991.7
申请日：2023-01-04
Applicant: 天津大学
Abstract: 本发明公开了一种晶圆表面缺陷智能检测方法、装置，属于晶圆缺陷检测技术领域，检测方法包括：将晶圆片和晶圆视觉拍照模组分别安装在相应载体上；控制晶圆片或晶圆视觉拍照模组移动至第一检测起始相对位置；利用晶圆视觉拍照模组在检测一模式下对晶圆表面图像进行采集，包括在检测一模式的预设检测路径下逐路径点进行拍照；控制晶圆片或晶圆视觉拍照模组移动至第二检测起始相对位置；利用晶圆视觉拍照模组在检测二模式下对晶圆表面图像进行采集，包括在检测二模式的预设检测路径下逐路径点进行拍照；对检测一模式和检测二模式下得到的拍摄图像进行处理，生成检测结果。本发明通过高自由度的打光方式能够对晶圆表面多种缺陷完成准确高效的检测。
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公开(公告)号：CN115493523B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211454260.7
申请日：2022-11-21
Applicant: 三代光学科技(天津)有限公司 , 天津大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置，所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括：利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后，采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值，利用所述XZ坐标值作为二维测量数据；采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息，利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后，进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息，有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题，软硬件方面自动化集成度高，可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量，也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。
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公开(公告)号：CN115493523A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211454260.7
申请日：2022-11-21
Applicant: 三代光学科技(天津)有限公司 , 天津大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及晶圆检测领域，尤其涉及一种晶圆表面三维形貌高速测量方法及装置，所述一种晶圆表面三维形貌高速测量方法包括：利用光学测量模块对应的光幕线投射至待测晶圆后，采集待测晶圆的表面反射光条数据解算得到与当前光幕线对应的XZ坐标值，利用所述XZ坐标值作为二维测量数据；采集待测晶圆不同回转角度的二维测量数据后得到当前回转半径的待测晶圆初始三维形貌信息，利用所述待测晶圆初始三维形貌信息基于圆柱坐标系转换后，进行拼接处理得到待测晶圆表面三维形貌信息，有效解决晶圆表面三维形貌高精度完整扫描测量难题，软硬件方面自动化集成度高，可实现离线晶圆表面三维形貌批量测量，也可以集成到产线实现在线晶圆表面三维形貌高速检测。
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公开(公告)号：CN114608481A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210275522.7
申请日：2022-03-18
Applicant: 天津大学
IPC: G01B11/25 , G01B11/245
Abstract: 本发明提供一种未知模型复杂曲面三维轮廓自动化测量方法，包括S1：获取两个测量设备的矩阵RTtrs；S2：低精度测量点云数据集G；S3：根据矩阵以及点云数据集G获取高精度的点云数据集Gt；S4：预测测量路径并生成预定采样点的三维坐标；S5：根据测量路径进行高精度测量获得点云数据集C；S6：比对点云数据集C与预定采样点的三维坐标：当覆盖率达到90％以上，获得完整点云数据；当覆盖率低于90％，重复S4。本发明能够测量精度较低的第一测量设备对待测器件的测量规划测量精度较高的第二测量设备的测量路径，并按照规划的路径进行测量，获得待测器件的未知曲面的高精度点云数据，使得本方法的测量数据完整度高，并且精度高，对测量未知曲面的适用范围广泛。
