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公开(公告)号：CN109150001A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811028677.0
申请日：2018-09-05
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
IPC分类号： H02N2/02
CPC分类号： H02N2/02
摘要： 本发明公开了一种纳米定位压电线性促动器，包括外壳、底盖、驱动臂、压电陶瓷和驱动螺钉，外壳与底盖连接且二者之间形成一空腔，驱动臂安装在该空腔内，压电陶瓷安装在驱动臂上，驱动臂的两端分别形成一第一钳口和第二钳口，驱动螺钉设置在第一钳口内，第二钳口与外壳连接，驱动螺钉通过预紧螺母、第一螺钉与底盖连接以用于固定支撑驱动螺钉，在驱动螺钉的末端安装有锁紧螺母用于锁紧驱动螺钉。本发明的有益效果是压电陶瓷安装在驱动臂内壁，减少零件的同时降低装配误差，并且从整体上提高促动器的刚度，保证促动器的运行稳定；同时钳口与驱动螺钉螺纹配合增大二者间的接触面积，降低对促动器的损坏，延长使用寿命，提高促动器的负载能力。
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公开(公告)号：CN109116552A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201811028674.7
申请日：2018-09-05
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法，包括以下步骤：S1：测得电容传感器误差-角度曲线Δθ-θ；S2：测得电容传感器未经处理的测量值θx1和θy1；S3：系统的总摆角近似为：θ1＝0.85×(θx1+θy1)；S4：通过查表Δθ-θ，得知θ1处于θaθa+1分隔区间，该区间两端的误差值为ΔθaΔθa+1；S5：传感器的矫正值Δθ1＝(θ1-θa)/(θa+1-θa)×Δθa+1+(θa+1-θ1)/(θa+1-θa)×Δθa。本发明很好地解决了压电偏摆镜在使用电容传感器时带来的正交耦合误差的问题，使得电容传感器在大行程压电偏摆镜上的应用成为可能。
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公开(公告)号：CN109116552B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201811028674.7
申请日：2018-09-05
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种采用电容传感器反馈的快反镜系统精度补偿方法，包括以下步骤：S1：测得电容传感器误差‑角度曲线Δθ‑θ；S2：测得电容传感器未经处理的测量值θx1和θy1；S3：系统的总摆角近似为：θ1＝0.85×(θx1+θy1)；S4：通过查表Δθ‑θ，得知θ1处于θaθa+1分隔区间，该区间两端的误差值为ΔθaΔθa+1；S5：传感器的矫正值Δθ1＝(θ1‑θa)/(θa+1‑θa)×Δθa+1+(θa+1‑θ1)/(θa+1‑θa)×Δθa。本发明很好地解决了压电偏摆镜在使用电容传感器时带来的正交耦合误差的问题，使得电容传感器在大行程压电偏摆镜上的应用成为可能。
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公开(公告)号：CN109140148B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201811028712.9
申请日：2018-09-05
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要： 本发明公开了串联压电驱动纳米定位平台，安装在基座内的平台本体、安装在平台本体上的XY向运动平台和压电陶瓷驱动器，XY向运动平台分别通过X向柔性铰链与Y向柔性铰链装配在基座中，X向柔性铰链与Y向柔性铰链分别通过X向弹簧组件与Y向弹簧组件与平台本体连接；XY向运动平台内分别安装有用于检测该运动平台X向位移的X向传感器和用于检测该运动平台Y向位移的Y向传感器，X向传感器和Y向传感器读取的位移数据配合共同完成纳米定位平台的二自由度运动的检测与反馈；压电陶瓷驱动器分别镶嵌在X向柔性铰链与Y向柔性铰链上，用于驱动XY向运动平台的二维运动。本发明的有益效果是串联的柔性铰链位移耦合小、偏航小、线性度好、定位精度高。
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公开(公告)号：CN109525104A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811170354.5
申请日：2018-10-09
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司 , 广东工业大学
IPC分类号： H02M1/10
摘要： 本发明公开了一种频率幅值可调节的交直流通用电源，涉及交直流通用电源领域，实现了为对电源频率和电压有特殊要求的设备提供动力，电源频率和电压幅值可调节，其技术方案要点是：包括信号发生器、信号放大模块、第一信号转换模块、第二信号转换模块、整流滤波模块，所述发生器、信号放大模块、第一信号转换模块、第二信号转换模块、整流滤波模块依次连接，所述信号放大模块用于放大信号发生器输出的信号，所述第一信号模块用于将输入信号转变为两路PWM信号，所述第二信号转换模块用于将两路PWM信号转变为四路PWM信号并输出电压信号，所述整流滤波模块用于整流滤波。
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公开(公告)号：CN109405726A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811170373.8
申请日：2018-10-09
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司 , 广东工业大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明公开了纳米位移电容传感器测试夹持机构，导向柱安装在底座上，压板上开设有通孔，导向柱穿过通孔与压板连接，以使该压板沿导向柱滑动，压板的两端安装有紧固螺钉，压板的中间安装有锁紧螺钉，锁紧螺钉的下端安装有螺钉垫块，用于与纳米位移电容传感器接触，螺钉垫块与底座之间构成支撑空间。本发明的有益效果是导向柱对压板的移动起到导向作用，可以灵活调节并且能够夹持固定位置，适用于测试不同规格的纳米位移电容传感器，压板通过紧固螺钉使压板受力均匀，不会造成纳米位移电容传感器的偏斜，以提高测试精度。底座支撑槽与螺纹垫块的压力锁紧纳米位移传感器，保证其与测试板端面之间的平行度，提高测试夹持机构的测试精确度。
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公开(公告)号：CN109246875A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811170372.3
申请日：2018-10-09
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司 , 广东工业大学
IPC分类号： H05B6/04 , H05B6/06 , H02M7/5387 , H02J3/38
摘要： 本发明涉及电磁感应加热技术领域，公开一种多功能升压谐振加热系统，包括直流输入电源、整流模块、Z源逆变模块，谐振模块、三相闭环控制模块，本申请采用Z源逆变器拓扑结构，接具备了直流电压逆变后升降压的功能，再接入闭环和电网同步反馈信号后，在(24V-48V直流电压源)可输出与电网同步的输出电压供设备使用，在选择加热模式后可直接作为加热的供电源，使其在感应加热领域的应用更广泛。
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公开(公告)号：CN108490596A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201711474374.7
申请日：2017-12-29
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要： 本发明提供一种高速面阵扫描的大视场切片显微成像系统，包括同轴照明光源装置、透射明场LED光源装置、显微物镜、物镜压电升降装置、高速显微成像装置以及高速扫描设备，所述同轴照明光源装置设置于高速显微成像装置一侧，所述高速显微成像装置的下方通过物镜压电升降装置与显微物镜相连通，所述显微物镜下方设置高速扫描设备，所述高速扫描设备下方设置透射明场LED光源装置。本发明的有益效果是直接通过下位机PMAC板和FPGA板实时控制样本台完成垂轴向二轴扫描和物镜轴向离焦补偿，并在行进至等间隔扫描点处时同步触发相机曝光，从而实现无需图像拼接的大视场切片高速扫描显微成像。
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公开(公告)号：CN115773445A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211357815.6
申请日：2022-11-01
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，底座的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨；X轴气浮导轨，X轴气浮导轨的两端通过第一螺钉固定在Y轴气浮导轨的Y轴气浮套上，X轴气浮导轨的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台；龙门支座，龙门支座通过第一螺栓对称固定在底座的上方，龙门支座的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁；Z轴升降平台和Z轴运动平台通过第三螺栓均固定在龙门横梁的前侧，Z轴运动平台的侧面通过直角转接件固定有三维纳米运动平台。提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动；可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。
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公开(公告)号：CN109253687B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201811170369.1
申请日：2018-10-09
申请人： 三英精控(天津)仪器设备有限公司 , 广东工业大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 本发明提供了一种基于柔性铰链机构的纳米级电容位移传感器测量装置，包括直线电机、电机支架、主体连接板、固定在所述主体连接板上的平台主体，所述平台主体内部安装柔性铰链机构，所述直线电机通过所述电机支架固定在所述主体连接板上，所述平台主体由所述直线电机驱动运动；在所述平台主体顶面上靠近所述直线电机一侧竖向安装纳米级电容位移传感器安装板，在所述纳米级电容位移传感器安装板上安装纳米级电容位移传感器，在所述凸台上固定运动板。本发明结构紧凑，可测试纳米级位移电容传感器的行程，测试稳定性好，使用中可以确保被检测面以较小的俯仰角度及偏航角度运动，保证了纳米位移电容传感器检测数值的准确性。
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