-
-
公开(公告)号:CN103688364B
公开(公告)日:2016-05-25
申请号:CN201280035996.9
申请日:2012-06-19
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L29/786 , G01T1/24 , G09F9/30 , H01L21/336 , H01L27/144 , H01L27/146 , H01L27/32
CPC classification number: H01L29/66969 , H01L21/02565 , H01L27/1225 , H01L27/14612 , H01L27/14614 , H01L27/14632 , H01L27/14659 , H01L27/14687 , H01L27/148 , H01L27/156 , H01L27/322 , H01L27/3244 , H01L27/3248 , H01L27/3262 , H01L29/66742 , H01L29/7869 , H01L29/78696
Abstract: 一种场效晶体管的制造方法。所述场效晶体管的制造方法包括:在配置于栅极上的栅极绝缘层上,使第一氧化物半导体膜成膜;使第二氧化物半导体膜成膜,第二氧化物半导体膜的阳离子组成与第一氧化物半导体膜的阳离子组成不同、且具有比第一氧化物半导体膜低的导电率;在氧化性环境下以超过300℃进行热处理;使第三氧化物半导体膜成膜,第三氧化物半导体膜的阳离子组成与第一氧化物半导体膜的阳离子组成不同、且具有比第一氧化物半导体膜低的导电率;在氧化性环境下以超过300℃进行热处理;以及在第三氧化物半导体膜上形成源极及漏极。
-