一种大尺寸平面显示屏幕自动调平装置及调平方法

    公开(公告)号:CN114460974A

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN202111622584.2

    申请日:2021-12-28

    IPC分类号: G05D3/12

    摘要: 本发明公开了一种大尺寸平面显示屏幕自动调平装置及调平方法,包括样品调平台、三维位移台和控制器;样品调平台上设有长条形的安装座,安装座上设有限位槽;三维位移台上设有光谱共焦位移传感器,控制器分别与样品调平台和光谱共焦位移传感器电连接;样品调平台用于对大尺寸平面显示屏幕进行俯仰和旋转两个角度的调节;光谱共焦位移传感器上设有三个定位点,三个定位点的连线构成直角三角形,第一个定位点与第二个定位点的连线平行于Y轴,第二个定位点与第三个定位点的连线平行于X轴;控制器接收光谱共焦位移传感器的数据,并对样品调平台进行俯仰和旋转角度进行控制。利用本发明,可以实现大尺寸平面显示屏幕的非接触式、快速、自动调平。

    一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法

    公开(公告)号:CN112581424B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN202011156457.3

    申请日:2020-10-26

    申请人: 浙江大学

    摘要: 本发明公开了一种光学元件表面与亚表面缺陷的分类提取方法,针对光学元件同一成像区域的荧光和散射图像,首先选取特征点计算仿射变换矩阵,通过重采样和插值实现两幅图像空间位置的配准;然后提取两幅图像中缺陷区域的轮廓特征,根据荧光图像和散射图像中的缺陷在空间中重叠情况,标记不同缺陷的类型;最终分别输出延伸型亚表面缺陷、隐藏型亚表面缺陷和表面缺陷图像。本发明提供的方法可实现同时对不同类型缺陷的分类和提取,分别获得表征不同类型缺陷的图像;通过图像空间配准操作保证荧光和散射图像的成像区域一致,降低了硬件装调难度,极大提高了缺陷分类和提取的准确性。

    一种大口径平面光学元件自动调平方法

    公开(公告)号:CN111257231B

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN202010133578.X

    申请日:2020-02-28

    IPC分类号: G01N21/01

    摘要: 本发明公开了一种大口径平面光学元件自动调平方法,采用自动调平装置,包括样品调平台、三维位移台、三台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元以及控制单元。在自动调平前,对三台激光位移传感器进行初始相对距离定标;自动调平时,三台激光位移传感器同时提供平面光学元件上三个对应采样点的相对距离,经分析处理后反馈给控制单元,进行俯仰和旋转角度调平。调平过程中,实时反馈三个采样点的相对距离,并矫正样品调平台的移动量,实现闭环控制。本发明操作步骤简单,无需对大口径平面光学元件进行扫描,极大提升了调平速度,实现大口径平面光学元件的非接触式、快速、自动调平。

    一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法

    公开(公告)号:CN112326685A

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN202011156466.2

    申请日:2020-10-26

    申请人: 浙江大学

    摘要: 本发明公开了一种光学元件激光诱导损伤在线检测装置和检测方法,其中,检测装置包括脉冲激光光源、探测激光光源、衰减系统、透镜、光学显微镜、CCD相机、计算机以及用于放置待检测光学元件的二维平移台;脉冲激光光源出射的脉冲激光通过衰减系统后由透镜聚焦到待测光学元件的表面,其穿过光学元件的透射光由设置的第一光阱吸收;探测激光光源出射的连续激光斜入射到待测光学元件的表面,其穿过光学元件的透射光由设置的第二光阱吸收;CCD相机的成像面位置可调,利用光学显微镜收集光学元件后表面的散射光,CCD相机获得表面损伤的二维图像后发送给计算机进行处理。利用本发明,可以实现对光学元件表面损伤的有效准确快速在线检测。

    一种旋转LED全角度环形照明装置
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118031175A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202410127439.4

    申请日:2024-01-30

    摘要: 本发明公开了一种旋转LED全角度环形照明装置,包括中空导电滑环和外转子中空电机,所述外转子中空电机的转子外壁套设固定有LED旋转架,所述的LED旋转架沿周向均匀设有三组准直LED光源;通过外转子中空电机实现对待测区域360度的旋转照明;所述中空导电滑环的内定子固定,外转子与所述准直LED光源的供电线相连,用于实现准直LED光源供电的旋转耦合。利用本发明,可以360度环形照明(纬线方向),实现每个角度的光通量均匀照明,同时可调整机构实现0°‑90°的光源照明方向调整(经线方向),尤其是在涉及暗场成像的机器视觉应用中发挥着关键作用。

    一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法

    公开(公告)号:CN114354627B

    公开(公告)日:2022-11-22

    申请号:CN202210001253.5

    申请日:2022-01-04

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: G01N21/88

    摘要: 本发明公开了一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法,环形均匀准直照明装置包括机械调整机构和奇数个照明单元,每个照明单元包括LED光源、光学准直系统、光学放大系统、角度可调反射镜;LED光源发出的光束经光学准直系统、光学放大系统后形成准直均匀光束,经角度可调反射镜反射后倾斜入射到目标面,多路倾斜的准直均匀光束在目标面同一位置叠加,形成具有特定入射方向的圆形均匀照明光斑。本发明中,光学准直系统和光学放大系统的设计使得照明单元出射光线的准直性较好,能够有效抑制暗场成像系统的杂散光,提高表面缺陷检测系统的信噪比;同时目标面上的照度均匀性较好,能够提高采集到图像的背景灰度均匀性,便于后续的图像处理。

    一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法

    公开(公告)号:CN114354627A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202210001253.5

    申请日:2022-01-04

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: G01N21/88

    摘要: 本发明公开了一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法,环形均匀准直照明装置包括机械调整机构和奇数个照明单元,每个照明单元包括LED光源、光学准直系统、光学放大系统、角度可调反射镜;LED光源发出的光束经光学准直系统、光学放大系统后形成准直均匀光束,经角度可调反射镜反射后倾斜入射到目标面,多路倾斜的准直均匀光束在目标面同一位置叠加,形成具有特定入射方向的圆形均匀照明光斑。本发明中,光学准直系统和光学放大系统的设计使得照明单元出射光线的准直性较好,能够有效抑制暗场成像系统的杂散光,提高表面缺陷检测系统的信噪比;同时目标面上的照度均匀性较好,能够提高采集到图像的背景灰度均匀性,便于后续的图像处理。

    一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置

    公开(公告)号:CN112858172A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110219465.6

    申请日:2021-02-26

    申请人: 浙江大学

    IPC分类号: G01N21/01 G01N21/958

    摘要: 本发明公开了一种光学检测装置中用于夹持薄板型光学元件的装置,包括容器框架、容器以及元件夹持机构,所述的容器框架的上端面设有安装口,所述的容器通过安装口安装在容器框架内,所述的元件夹持机构用于将待测光学元件夹持后一起放入容器中,所述的容器内设有折射率匹配液;所述的元件夹持机构包括采用合页结构连接的元件固定框和定位边框,所述的元件固定框上设有形状与待测光学元件匹配的安装槽,所述安装槽的边长尺寸略大于待测光学元件;所述容器框架的底部和两侧的狭长面上设有容器进光槽,所述元件固定框的顶部与其余三侧的狭长面上设有元件进光槽。利用本发明,可以有效地实现光学元件的夹持需求,能有效地应用于实际检测装置。

    一种大口径球面光学元件球心和曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN111272103B

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202010127956.3

    申请日:2020-02-28

    申请人: 浙江大学

    摘要: 本发明公开了一种大口径球面光学元件球心和曲率半径测量方法,采用自动测量装置,所述的自动测量装置包括样品台、三维位移台、四台激光位移传感器、数据采集单元、数据分析处理单元以及控制单元。测量时,四台激光位移传感器同时提供球面光学元件上四个采样点的相对距离;数据采集单元与分析处理单元通过相对距离,自动计算出球面坐标方程,并输出球心位置和曲率半径。测量过程中,可通过三维位移台的移动更换采样位置,在多个采样位置进行测量,并将结果取平均,提高测量精度。本发明操作步骤简单,无需大口径球面光学元件进行任何移动,有效降低了机械结构的复杂程度和成本,实现大口径球面光学元件球心和曲率半径的非接触式、快速测量。

    一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法

    公开(公告)号:CN111369511A

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN202010128100.8

    申请日:2020-02-28

    IPC分类号: G06T7/00 G01N21/88

    摘要: 本发明公开了一种基于频谱特性的光学元件表面弱划痕检测方法,包括:(1)采用激光光源发出光线,依次经过扩束器和整形器获得各部分均匀的平顶光斑,斜入射至待测光学元件,经光学元件表面反射并依次进入光学显微镜和CCD,得到二维图像;(2)对二维图像进行二维离散傅里叶变换,将图像信息从空域转变为频域;(3)对傅里叶变换后的图像进行频移,之后进行不同方向上强度积分,获取弱划痕信号角度;(4)根据频移后的积分信号强弱,将对应方向的强度信号在频率域中滤除;(5)将处理后的图像进行傅里叶逆变换,将得到图片与原始图像进行差分,获得纯净的弱划痕图片。本发明的方法对于弱划痕检测效果好,速度较快,抗噪声干扰能力强。