公开(公告)号：CN102021577A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200910187389.4

申请日：2009-09-16

申请人： 中国科学院金属研究所

发明人： 徐娜 ,  宫骏 ,  常新春 ,  侯万良 ,  张甲 ,  张凤军 ,  王建强 ,  孙超 ,  全明秀

IPC分类号： C23C30/00 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32 ,  F16C32/06

摘要： 本发明涉及高温固体润滑涂层领域，具体为一种箔片空气轴承用高温固体润滑涂层及其制备方法，解决从室温到650℃下箔片空气轴承中箔片的磨损问题。该涂层为CuAl合金，按重量百分比计，其化学组成为：Cu 90-98％，Al 2-10％。该涂层由真空电弧离子镀技术制备，其工艺参数为：弧电压20-30V，弧电流75-95A，导向电压12-18V，导向电流4-7A，聚焦电压9-13V，聚焦电流4-8A；首先，在偏压500-600V下，时间1.5-3.5min；然后，在偏压200-300V下，时间3-4h；最终获得高温固体润滑涂层。本发明高温固体润滑涂层，一方面可以提高轴上用高温固体自润滑涂层的摩擦磨损性能，另一方面可避免或减小箔片的磨损，从而保证箔片空气轴承在高温高速环境下稳定运行。