公开(公告)号：CN216979180U

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202220316738.9

申请日：2022-02-16

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 许明霞 ,  盖志刚 ,  柴旭 ,  张学宇 ,  郭风祥 ,  张妹 ,  王宜豹 ,  胡鼎 ,  王韶琰 ,  夏广森 ,  孙玮

IPC: G01R27/22

Abstract: 本实用新型提出了一种电极型电导率传感器。本实用新型包括壳体、壳盖、温度探头和电导率探头；壳体的内部设有电路板；壳盖用于密封盖合壳体；温度探头设置于壳盖上；电导率探头也设置于壳盖上并位于温度探头的一侧，电导率探头包括导流管和电导率电极，电导率电极同轴套接于导流管的内部，电导率电极包括基体，基体的外表面上设有上下平行排列的七个环形电极，环形电极的外表面上设有硼掺杂金刚石薄膜层，环形电极的内部还设有引线，引线穿过基体并由基体的内部穿过壳盖与壳体内的电路板连接。本实用新型的电导率电极结构稳定，组装方便，易清洗，工作效率高，使用寿命长，所得的电极型电导率传感器响应快，测量效果好，测量精度高，性能稳定。

公开(公告)号：CN213411555U

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN202022134426.X

申请日：2020-09-25

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 柴旭 ,  王宜豹 ,  盖志刚 ,  姜辛 ,  郭风祥 ,  张妹 ,  陈志刚 ,  王韶琰 ,  孙小玲 ,  胡鼎 ,  刘寿生 ,  张丽丽

IPC: B24B27/033 ,  B24B47/22 ,  B24B47/20 ,  B24B41/06 ,  B24C3/12 ,  B24C9/00 ,  B08B3/12 ,  C23F1/26

Abstract: 本实用新型属于金属表面处理技术领域，具体涉及硼掺杂金刚石基底表面处理的设备和方法。一种用于对硼掺杂金刚石基底表面处理的自动化设备，包括抛光装置、化学处理装置和喷砂装置；所述抛光装置主要由传送带、抛光棒和样品固定装置组成，所述样品固定装置和抛光棒设置在所述传送带上方。本实用新型的自动化设备，集成抛光处理，化学处理，喷砂处理，将化学处理和物理处理有机结合，成本远远低于等离子刻蚀技术；有效增加基片的表面粗糙度，增加电极水处理面积；提高薄膜与基底的结合性能，延长电极使用寿命，降低电极使用成本。

公开(公告)号：CN208568143U

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201821231269.0

申请日：2018-08-01

Applicant: 山东省科学院海洋仪器仪表研究所

Inventor： 郭风祥 ,  盖志刚 ,  张涛 ,  张妹 ,  胡鼎 ,  刘寿生 ,  曹琳 ,  王韶琰 ,  柴旭 ,  王宜豹

IPC: G01L7/08 ,  G01L9/06

Abstract: 本实用新型属于海洋环境监测仪器技术领域，涉及一种用于检测海水压力的传感器。一种基于金刚石薄膜的海水压力传感器,包括底座、基底、绝缘层、压力敏感层、电极和金属外壳；其中，基底位于底座的顶面，其内部形成有应力腔；绝缘层位于基底的顶面；压力敏感层位于绝缘层的顶面，为单晶或多晶硼掺杂金刚石构成的尺寸、结构、成分完全相同的四块薄膜；电极包括四个，分别设置在形成所述压力敏感层的四块薄膜上；金属外壳安装在所述基底的顶面，并将所述绝缘层、压力敏感层和电极封装在其内，在金属外壳环绕形成的腔体内封装有液压油。本实用新型的海水压力传感器可以抑制传感器结构失稳与信号漂移，提高传感器对海水压力响应的灵敏度和稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利