公开(公告)号：CN117121380A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280025213.2

申请日：2022-03-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  铃木胜己 ,  木村哲也

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明兼顾空间部的粘附的抑制和干燥时间的缩短。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；以及多个谐振器，分别具有设置在压电层的第1方向上的功能电极。支承构件在第1方向上俯视时与谐振器各自的至少一部分重叠的位置设置有多个空间部，多个空间部包含第1空间部和在第1方向上俯视时面积比第1空间部大的第2空间部，在压电层设置有与第1空间部连通的第1贯通孔和与第2空间部连通的第2贯通孔，在第1方向上俯视时，第1贯通孔的面积比第2贯通孔大。

公开(公告)号：CN117121377A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202280024512.4

申请日：2022-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置(10)具备压电层(12)、多个电极(功能电极(14)等)、支承基板(11)、第一盖部(21)以及第一支承部(22)。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，第一功能电极(14A)的至少一部分及第二功能电极(14B)的至少一部分设置为与空洞部(13)重叠。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，第一盖部(21)与第一功能电极(14A)、第二功能电极(14B)、第一布线电极(16A)及第二布线电极(16B)重叠。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，第一中继电极(24A)的至少一部分设置为与第一功能电极(14A)及第二功能电极(14B)中的至少一方重叠。

公开(公告)号：CN117044106A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202280023410.0

申请日：2022-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则

IPC: H03H9/25

Abstract: 弹性波装置(10)具备压电层(12)、多个电极(功能电极(14)等)以及支承基板(11)。多个电极具有至少一对功能电极(14)以及与功能电极(14)分别连接的布线电极(16)。功能电极(14)具有与信号布线连接的第一功能电极(14A)以及与第一功能电极(14A)成对的第二功能电极(14B)。布线电极(16)具有与第一功能电极(14A)及第二功能电极(14B)分别连接的一个以上的第一布线电极(19)。在支承基板(11)与压电层(12)之间设置有空洞部(13)。在从支承基板(11)与压电层(12)的层叠方向观察时，在压电层(12)的第一主面(12a)及第二主面(12b)中的至少一个主面上，第一功能电极(14A)的整体以及一个以上的第一布线电极(19)中的与该第一功能电极(14A)连接的第一布线电极(19)的整体被设置为与空洞部(13)重叠。

公开(公告)号：CN116530013A

公开(公告)日：2023-08-01

申请号：CN202180070735.X

申请日：2021-10-14

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明提供一种谋求电极部的耐湿性的提高的弹性波装置。弹性波装置具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在与压电层的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在第1主面之上；框状的支承基板，设置在第2主面，在厚度方向上俯视，与至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通支承基板的第1空洞部；树脂片材，相对于支承基板设置在压电层的相反侧，将第1空洞部闭塞；金属框，呈具有第2空洞部的框状，设置在第1主面并包围压电层以及一对电极；和无机片材，相对于金属框设置在与压电层相反侧，将第2空洞部闭塞，包含无机材料。

公开(公告)号：CN116076021A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202180062615.5

申请日：2021-09-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则

IPC: H03H9/145

Abstract: 提供一种弹性波装置，抑制频率特性的纹波。弹性波装置包括支承基板、在沿支承基板的第一方向观察时与支承基板重叠的压电层、以及设置于压电层的第一主面的功能电极。在压电层的第二主面侧具有空间部，压电层的第二主面侧是压电层的第一主面的相反侧，功能电极设置为跨越在第一方向上与空间部重叠的重叠区域以及不与空间部重叠的非重叠区域。在非重叠区域中，在功能电极与压电层之间设置有绝缘膜及空隙中的至少一个。

公开(公告)号：CN114731151A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202080078560.2

申请日：2020-11-09

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则 ,  大塚慎太郎 ,  川崎幸一郎 ,  中西秀文 ,  新雅和 ,  福岛正宏 ,  丰田泰之

IPC: H03H9/25 ,  H01L23/02 ,  H03H3/08

Abstract: 电子部件(100)具备基板(110)、形成在基板上的功能元件(120)、第1电极(150)、绝缘体的支承体(160)、覆盖部(190)、第2电极(170)、以及突起部(180)。第1电极(150)配置在基板上，并与功能元件(120)连接。支承体(160)覆盖第1电极(150)，并从基板(110)突出。覆盖部(190)与基板(110)对置地配置，由基板(110)、支承体(160)以及覆盖部(190)形成中空空间(155)。第2电极(170)配置在形成于支承体(160)以及覆盖部(190)的贯通孔，并与第1电极(150)电连接。突起部(180)在上述的贯通孔中形成在第1电极(150)上。

公开(公告)号：CN111480294A

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201880081160.X

申请日：2018-12-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上和则

IPC: H03H9/25 ,  H01L23/04 ,  H03H9/145

Abstract: 在支承部(40)以及覆盖部(50)，形成从覆盖部(50)中的与支承部(40)相反侧的上表面(51)贯通到支承部(40)中的基板(10)侧的下表面(41)的贯通孔(80)。贯通孔(80)在俯视观察下与布线(30)的一部分重叠。弹性波装置(100)进一步具备：电极膜(60)，其在贯通孔(80)内与布线(30)电连接；以及保护层(70)，其由绝缘材料形成，并覆盖电极膜(60)的一部分。保护层(70)在贯通孔(80)内与覆盖部(50)以及支承部(40)连接。保护层(70)与覆盖部(50)以及支承部(40)的热膨胀系数差小于保护层(70)与电极膜(60)的热膨胀系数差。