公开(公告)号：CN1572717A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410046586.1

申请日：2004-06-11

Applicant: LG电子有限公司

Inventor： 李泳柱 ,  池昌炫 ,  崔正薰

IPC: B81B5/00 ,  F16K31/02 ,  F16K3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: F16K99/0001 ,  B81B7/04 ,  B81B2201/038 ,  F15C5/00 ,  F16K99/0009 ,  F16K99/0046 ,  F16K2099/0074 ,  F16K2099/008

Abstract: 本发明公开了一种微致动器及其制造方法，以及一种微驱动阀。该微驱动阀包括：在其中部具有一个流体入口的第一阀套；与第一阀套装配在一起以在其中形成一个空间部分并具有一个与第一阀套的流体入口相连通的流体出口的第二阀套；一个安装在该空间部分并在其一侧具有一个微通道用于与流体出口相连通的薄板；多个微驱动构件靠近薄板安装，用于通过有选择的开启和关闭薄板的微通道将从第一阀套的流体入口引入的流体排放到第二阀套的流体出口；一个安装在薄板上用于支撑微动件的微动件悬架；一个安装在微动件上的线圈；一个距线圈一定间隙安装的磁铁；及一个形成于薄板上用于为线圈提供电源的电极部分。