公开(公告)号：CN107002215A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580058324.3

申请日：2015-10-28

Applicant: 东华隆株式会社 ,  福吉米株式会社

Inventor： 安尾典之 ,  高畠刚 ,  水津龙夫 ,  水野宏昭 ,  益田敬也 ,  久野达也

IPC: C23C2/40 ,  C23C4/067 ,  C23C4/129 ,  F16C13/00

Abstract: 本发明的喷镀用粉末含有选自W和Mo的第一元素、选自Co、Ni和Fe的第二元素、选自C和B的第三元素和由Si构成的第四元素作为构成元素。喷镀用粉末以40摩尔％以下的量含有第二元素。喷镀用粉末中的第四元素相对于第二元素的摩尔比为0.002以上且0.03以下。喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W和C的晶相，或者喷镀用粉末具有包含Co/Ni/Fe、W/Mo、和B的晶相。喷镀用粉末的X射线衍射光谱上的归属于Co、Ni或Fe的峰的强度是在同一X射线衍射光谱上显示出的峰中强度最大的峰的强度的0.1倍以下。

公开(公告)号：CN104105820B

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201280069358.9

申请日：2012-10-26

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 原田良夫 ,  户越健一郎

IPC: C23C24/08 ,  C23C4/02 ,  C23C4/06 ,  C23C4/04 ,  C23C4/12

CPC classification number: B05D1/02 ,  B05B7/205 ,  B05D2350/33 ,  C23C4/02 ,  C23C4/04 ,  Y10T428/12056 ,  Y10T428/24372 ,  Y10T428/24413

Abstract: 本发明提供一种通过抑制热分解反应和氧化反应而使在品质方面具有良好特性的氟化物喷涂覆膜粘合而成的氟化物喷涂覆膜覆盖部件，并提出一种使该覆膜牢固地附着而覆盖形成的方法。一种方法，其在基材或经前处理的基材表面，视需求在碳化物金属陶瓷的底涂层或喷涂微粒散布部上，以不活泼气体为成膜用工作气体，以不活泼气体温度600℃～1300℃、飞行微粒速度：500m/sec.以上的速度喷洒氟化物喷涂材料微粒，从而在该基材表面形成氟化物喷涂覆膜植毛构造；以及一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件。

公开(公告)号：CN103890223B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201280050724.6

申请日：2012-04-12

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 稻叶光晴 ,  横田博纪

IPC: C23C4/18 ,  B23K26/06 ,  B23K26/08 ,  B23K26/34 ,  C23C4/04 ,  C23C4/10

CPC classification number: B05D3/06 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/34 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18

Abstract: 本发明提供可形成防止过大裂纹的产生、且可以得到充分的效果的致密化层，与此同时不导致成本上升的喷涂覆膜中的致密化层的形成方法、和喷涂覆膜被覆构件。使Al2O3喷涂覆膜5的表层6的覆膜组合物再熔融、再凝固的高能束由在对Al2O3喷涂覆膜5的表面5a进行扫描时向扫描方向先行进行扫描的先行激光束20和在与该先行激光束20相同的轨迹上追随地进行扫描的追随激光束21构成，使先行激光束20对Al2O3喷涂覆膜5的表面5a边扫描边照射，同时，使追随激光束21对由该先行激光束20扫描后的被照射区域22边扫描边重叠照射，从而使该被照射区域22的表层6致密化。

公开(公告)号：CN105051390A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201480017826.7

申请日：2014-01-07

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 虻川志向 ,  水津龙夫

IPC: F16C33/64 ,  C23C4/10 ,  F16C19/06 ,  F16C35/073 ,  F16C35/077 ,  H02K7/08

CPC classification number: F16C33/64 ,  C23C4/11 ,  C23C4/134 ,  F16C19/06 ,  F16C19/52 ,  F16C33/586 ,  F16C33/62 ,  F16C35/063 ,  F16C35/067 ,  F16C2223/42 ,  F16C2380/26

Abstract: 一种防电蚀用滚动轴承(1)，其具有：金属制的外圈(2)；以及金属制的内圈(3)，其隔着多个滚动体(5)进行配置，通过等离子喷镀法在外圈(2)或内圈(3)的外表面(21)、(31)上形成防电蚀用的陶瓷喷镀覆膜(10)。使陶瓷喷镀覆膜(10)的膜厚为50μm～100μm，使组成为铝氧化物：60重量％～98重量％、钛氧化物：2重量％～40重量％，且将体积电阻率调整为106Ωcm～1013Ωcm，虽然维持绝缘性能但没有完全切断电流，提高了耐久性。

公开(公告)号：CN104105820A

公开(公告)日：2014-10-15

申请号：CN201280069358.9

申请日：2012-10-26

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 原田良夫 ,  户越健一郎

IPC: C23C24/08 ,  C23C4/02 ,  C23C4/06 ,  C23C4/10 ,  C23C4/12

CPC classification number: B05D1/02 ,  B05B7/205 ,  B05D2350/33 ,  C23C4/02 ,  C23C4/04 ,  Y10T428/12056 ,  Y10T428/24372 ,  Y10T428/24413

Abstract: 本发明提供一种通过抑制热分解反应和氧化反应而使在品质方面具有良好特性的氟化物喷涂覆膜粘合而成的氟化物喷涂覆膜覆盖部件，并提出一种使该覆膜牢固地附着而覆盖形成的方法。一种方法，其在基材或经前处理的基材表面，视需求在碳化物金属陶瓷的底涂层或喷涂微粒散布部上，以不活泼气体为成膜用工作气体，以不活泼气体温度600℃～1300℃、飞行微粒速度：500m/sec.以上的速度喷洒氟化物喷涂材料微粒，从而在该基材表面形成氟化物喷涂覆膜植毛构造；以及一种氟化物喷涂覆膜覆盖部件。

公开(公告)号：CN103890224A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280050729.9

申请日：2012-04-11

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 稻叶光晴 ,  横田博纪 ,  山田圭介

IPC: C23C4/18 ,  B23K15/00 ,  B23K26/34 ,  C23C4/04 ,  C23C4/10

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23K15/00 ,  B23K15/06 ,  B23K26/0006 ,  B23K26/127 ,  B23K26/3568 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/52 ,  C23C4/04 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18 ,  H01L2221/683 ,  Y10T279/23

Abstract: 本发明提供不易产生成分污染、并且能够充分地减少半导体制造装置中的颗粒的产生的半导体制造装置用构件。形成一种高强度陶瓷层5，其由向传送臂1的载置构件16喷涂陶瓷而形成喷涂覆膜、对该喷涂覆膜照射激光束、使陶瓷组合物再熔融、再凝固而改质后的陶瓷再结晶物构成，且具有网眼状裂纹6，所述高强度陶瓷层使由于半导体制造装置50中的外在因素而从载置构件16上脱落的粒子减少至不对半导体制造工艺产生影响的程度。

公开(公告)号：CN103890223A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280050724.6

申请日：2012-04-12

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 稻叶光晴 ,  横田博纪

IPC: C23C4/18 ,  B23K26/34 ,  C23C4/04 ,  C23C4/10

CPC classification number: B05D3/06 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/34 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18

Abstract: 本发明提供可形成防止过大裂纹的产生、且可以得到充分的效果的致密化层，与此同时不导致成本上升的喷涂覆膜中的致密化层的形成方法、和喷涂覆膜被覆构件。使Al2O3喷涂覆膜5的表层6的覆膜组合物再熔融、再凝固的高能束由在对Al2O3喷涂覆膜5的表面5a进行扫描时向扫描方向先行进行扫描的先行激光束20和在与该先行激光束20相同的轨迹上追随地进行扫描的追随激光束21构成，使先行激光束20对Al2O3喷涂覆膜5的表面5a边扫描边照射，同时，使追随激光束21对由该先行激光束20扫描后的被照射区域22边扫描边重叠照射，从而使该被照射区域22的表层6致密化。

公开(公告)号：CN103025908A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201080068188.3

申请日：2010-05-31

Applicant: 东华隆株式会社 ,  洪明洙

Inventor： 安尾典之 ,  宫岛生欣 ,  洪明洙

IPC: C23C4/06 ,  B21C47/00 ,  B21C47/06 ,  C22C38/00 ,  C22C38/22 ,  C22C38/24 ,  C23C4/10 ,  C23C4/12 ,  C23C4/18 ,  C23C10/28 ,  C23C26/00

CPC classification number: C23C4/18 ,  B21C47/06 ,  B22F3/115 ,  B22F7/08 ,  C22C38/00 ,  C22C38/02 ,  C22C38/04 ,  C22C38/22 ,  C23C4/10 ,  C23C10/02 ,  C23C10/28

Abstract: 廉价地提供辊基材为高硬度、不易受到凹陷等变形损伤、而且被覆在辊基材表面的喷镀覆膜在覆膜密合性、耐磨耗性、钢板通板性方面优异的、适用于热轧设备的辊，并且提供其有利的制造方法。作为其解决方案，优选在使用Cr为0.9～3.2质量%且下述(1)式定义的碳当量Ceq为0.45～1.65质量%的钢而成的辊基材的表面覆盖含有硬质陶瓷颗粒的自熔合金的喷镀覆膜后，在非氧化性气氛下实施熔合处理而在上述喷镀覆膜与辊基材之间形成厚度为30～200μm的扩散层后，进行冷却或热处理，使辊基材的硬度按肖氏硬度HS计为35～60。

公开(公告)号：CN101878316B

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN200880118211.8

申请日：2008-11-28

Applicant: 新日本制铁株式会社 ,  东华隆株式会社

Inventor： 栗栖泰 ,  水津龙夫

IPC: C21D9/56 ,  C21D1/00 ,  C22C29/06 ,  C23C4/06 ,  C23C4/18

CPC classification number: C23C4/06 ,  C21D9/563 ,  C22C19/05 ,  C22C19/07 ,  C22C29/02 ,  C23C4/18 ,  F27B9/2407 ,  F27B9/2469

Abstract: 本发明提供可抑制向炉底辊表面的积瘤的发生、并可在连续退火炉内的高温环境下长时间稳定地使用的连续退火炉用炉底辊及其制造方法。该连续退火炉用炉底辊在表面具有含有50～90体积％的陶瓷和其余量的耐热合金的金属陶瓷皮膜，上述陶瓷含有多于50体积％且在90体积％以下的Cr3C2、1～40体积％的Al2O3、0～3体积％的Y2O3和0～40体积％的ZrB2，剩余部分由不可避免的杂质和气孔构成；上述耐热合金含有5～20质量％的Cr、5～20质量％的Al和0.1～6质量％的Y和Si中的任1种或2种，剩余部分由Co和Ni中的任1种或2种、以及不可避免的杂质构成。

公开(公告)号：CN114269507B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202080058524.X

申请日：2020-08-20

Applicant: 东华隆株式会社

Inventor： 横田博纪 ,  川井大辅

IPC: B23K26/356 ,  B23K26/00 ,  B23K26/352

Abstract: 本发明的表面处理方法是对具有凹凸的基材的表面照射激光束以对该表面进行加工的表面处理方法，该激光束满足所有下述三个条件：距激光束斑的中心25μm半径范围的功率密度为1.0×103～1.0×105kW/cm2、整个激光束斑的功率密度为距激光束斑的中心25μm半径范围的功率密度的0.08～0.12倍、以及距激光束斑的中心25μm半径范围的作用时间为1.7×10‑6～1.0×10‑5秒。该方法可以除去基材表面的微细而锐利的突起部，并且保留一定的粗糙度。