一种真空腔室填充装置
    51.
    实用新型

    公开(公告)号:CN210420150U

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201921437154.1

    申请日:2019-08-29

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本实用新型公开一种真空腔室填充装置,属于磁控溅射镀膜玻璃生产线用装备的技术领域,包括:底板,底板上设有至少两填充组件和一辊子,两填充组件分别与底板固定连接,两填充组件之间形成有容置凹槽,辊子转动设于容置凹槽内,辊子的上侧伸出容置凹槽;每一填充组件均包括:两第一填充块,两第一填充块分别与底板固定连接;一第二填充块,第二填充块的下侧夹设于两第一填充块之间,第二填充块的上侧的两端分别位于两第一填充块上;位于一填充组件的一端与另一填充组件靠近该一填充组件的一端之间形成容置凹槽。本实用新型加工简单、成本低、填充效果好、无焊缝开裂内漏风险、方便维护。

    一种密封输送辊
    52.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209871531U

    公开(公告)日:2019-12-31

    申请号:CN201920364959.1

    申请日:2019-03-21

    IPC分类号: B65G39/09

    摘要: 本实用新型涉及一种密封输送辊,包括具有轴向贯通的空腔的辊筒、以及分别安装在辊筒两端的轴头,所述轴头包括一体式相连的转轴体和连接体,所述连接体封堵住空腔、且连接体与辊筒之间密封焊接,所述转轴体与辊筒同轴线。密封输送辊通过转轴体进行滚动,转动惯量小,易于启停。轴头和辊筒之间的密封性良好,连接强度好,保证了密封输送辊能够稳定可靠的转动、以及具有良好的气密性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    用于生产镀膜玻璃的镀膜装置

    公开(公告)号:CN207031539U

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201720795433.X

    申请日:2017-07-03

    IPC分类号: C23C14/56 C23C14/35

    摘要: 本实用新型提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置,镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材;其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室,第二隔离腔室、第三隔离腔室,3个所述隔离腔室依次连接,每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板;每个隔离腔室内的下部都设置传输单元,所述传输单元贯通所有隔离腔室;第一隔离腔室以及第三隔离腔室内设置气体隔离单元;第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元;所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。本实用新型使用更加便捷,气体隔离装置隔离性能好,隔离系数高,结构简单。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    同步带张紧装置
    54.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205780647U

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201620520260.6

    申请日:2016-06-01

    IPC分类号: F16H7/08

    摘要: 本实用新型提供了一种同步带张紧装置,包括光轮、偏心轴、螺栓、螺母,所述光轮设置有中空部以及第一限位部,所述中空部的左侧固定有第一轴承,所述中空部的右侧固定有第二轴承,所述偏心轴分为伸入部以及卡位部,所述伸入部连接所述卡位部,所述伸入部伸入所述光轮中空部并依次通过所述第二轴承以及所述第一轴承固定,所述卡位部贴合所述第一限位部限位固定,所述偏心轴设置有一内孔,所述内孔的中轴线偏离所述偏心轴的中轴线设置,所述螺栓穿过一固定部并通过螺母紧固定,所述螺栓的伸出部伸入所述内孔固定。本实用新型结构简单,成本较低,易于安装,方便调节,大大减轻工人的劳动强度,同时结构稳定性好。

    镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构

    公开(公告)号:CN204939284U

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201520593839.0

    申请日:2015-08-07

    IPC分类号: C03C17/00

    摘要: 一种镀膜玻璃生产线边部气体隔离结构,包括边部隔离板,角钢,固定螺钉,顶紧螺钉,及定位螺钉,所述定位螺钉安装在所述角钢对应的螺纹孔上,所述角钢安装在隔板两侧,调节好角钢高度,用所述顶紧螺钉把所述角钢固定在腔体隔板上,所述固定螺钉将所述边部隔离板放置在所述角钢上。本实用新型结构简单,安装方便,高度可调,腔体隔板上不用攻螺纹孔,节约成本,连接可靠。

    一种真空腔密封面检漏工具

    公开(公告)号:CN203414245U

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201320488430.3

    申请日:2013-08-09

    IPC分类号: G01M3/26

    摘要: 一种真空腔密封面检漏工具,其特征在于:包括:一检漏板(1),其一侧板面为平面,该平面作为检漏作用面(2);一密封圈定位槽(3),开设于检漏作用面(2)上,且该密封圈定位槽(3)为封闭回路;一密封圈(4),嵌设于密封圈定位槽(3)内,且密封圈(4)突出于密封圈定位槽(3)的槽口;一抽气槽(5),开设于检漏作用面(2)上,且位于密封圈定位槽(3)围成的区域内;至少一抽气孔(6),设于检漏板(1)上,抽气孔(6)一端与抽气槽(5)连通。本实用新型可用于对真空腔密封平面上存在瑕疵(如存在微小划痕、凹陷)的局部区域进行单独预先检漏,在设备进行整体检漏前就排除泄露隐患。

    一种真空腔室观察窗装置
    57.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203411605U

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201320486806.7

    申请日:2013-08-09

    IPC分类号: C23C14/52

    摘要: 一种真空腔室观察窗装置,包括观察孔(12)、观察玻璃(13)以及固定盖(14);其特征在于:固定盖(14)具有周向一圈盖边沿(15);固定盖(14)罩设于观察玻璃(13)上,且以螺钉将固定盖(14)的一周盖边沿(15)与真空腔室的侧板(11)固定连接;并且,在观察玻璃(13)与观察孔(12)间设有一密封圈结构,该密封圈结构由一O型密封圈(16)和一卡持圈(17)组成;O型密封圈(16)垫衬于观察玻璃(13)与真空腔室的侧板(11)之间;卡持圈(17)为绕O型密封圈(16)的内周面设置的环形支撑体,卡持圈(17)朝观察孔(12)的一端嵌入观察孔(12)内。本实用新型装配时不需要焊接连接,避免了因焊缝造成的泄漏隐患,同时制造工艺得到简化。

    一种带密封的真空镀膜生产线玻璃基板输送辊

    公开(公告)号:CN203411077U

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201320488588.0

    申请日:2013-08-09

    IPC分类号: B65G49/06 B65G39/02 B65G39/09

    摘要: 一种带密封的真空镀膜生产线玻璃基板输送辊,其特征在于:轴头(12)由一轴端(13)和一堵头体(14)一体连接构成,堵头体(14)与辊皮(11)的端部过盈配合,堵头体(14)的外端面设多个内螺纹孔(15),一内螺纹孔(15)作为检测孔(16);压盖(17)盖设于堵头体(14)外端面上,压盖(17)的一周盖边沿(19)与辊皮(11)端面之间垫设密封圈(20)密封;压盖(17)与堵头体(14)外端面之间绕通孔(21)垫设密封圈(22)密封;螺栓(18)穿过压盖与压盖(17)的内螺纹孔(15)连接;并且,螺栓(18)头部与压盖(17)之间垫设有组合垫圈(24)。本实用新型辊皮和轴头之间仅通过一次过盈配合即可实现连接,提高了装配效率,且制造方便。