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公开(公告)号：CN111677801A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010606311.8
申请日：2020-06-29
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于正负刚度并联的三自由度电磁隔振装置属于精密隔振技术领域，X向磁弹簧与Y向磁弹簧垂直布置，并与Z向正刚度弹簧并联连接，实现三自由度的正负刚度结构并联；X向磁弹簧由第一定磁铁、第一动磁铁、第二动磁铁和第二定磁铁沿水平X轴依次阵列构成，Y向磁弹簧由第三定磁铁、第三动磁铁、第四动磁铁和第四定磁铁沿水平Y轴依次阵列构成；本发明结构设计简单灵活、磁材料利用率高，能实现精密仪器设备的三自由度低频/超低频隔振效果。
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公开(公告)号：CN111677799A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010605234.4
申请日：2020-06-29
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于水平预压弹簧的三自由度电磁隔振器属于精密隔振技术领域，四个水平放置的预压弹簧沿圆周阵列布置，内端与外端分别与负载连接件、固定框架固定连接，磁弹簧由上定磁铁、中间动磁铁和下定磁铁沿Z轴等间隙布置构成，上定磁铁和下定磁铁分别与固定框架、底板固定连接，中间动磁铁与负载连接件通过动磁铁连接件固定连接。本发明结构设计简单灵活、磁材料利用率高、实现精密仪器设备三自由度的低频/超低频隔振效果。
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公开(公告)号：CN108801435B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201810208123.2
申请日：2018-03-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 基于速度、加速度复合预估相位解调的高速激光测振仪属于激光测振技术领域；该测振仪包括干涉部分、探测部分和数据采集处理部分，数据采集处理部分由第一差分放大器、第二差分放大器和计算机组成，所采用的速度、加速度复合预估相位解调方法包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、加速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移；本发明为解决高速激光测振中存在的采样频率过高、数据量过大的问题提供了一种技术解决方案，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大测振仪应用范围。
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公开(公告)号：CN108627235B
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201810208084.6
申请日：2018-03-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 速度、加速度复合预估激光测振相位解调方法属于激光测振技术领域；该相位解调方法包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、加速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移；本发明可解决零差激光干涉测振技术中传统相位解调方法在高速振动测量时存在的采样频率过高和数据量过大的问题，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大激光测振仪应用范围。
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公开(公告)号：CN109186434A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810889933.9
申请日：2018-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用三维量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，再采用偏置电场发生系统产生偏置电压加载在微测球和被测件之间形成偏置电场，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号，尔后通过隧穿信号检测系统以亚纳米分辨力提取瞄准间隙信息；本发明还提供了一种传感装置；本发明有效兼顾了亚纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN104897270B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510340369.1
申请日：2015-06-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 基于单声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用偏振分光镜PBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上的入射光束经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整参考角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使参考光只经过一次声光调制器，调节测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过偏振分光镜PBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104235260B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201210575896.7
申请日：2012-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
摘要： 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间采用磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN106248195A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610667672.7
申请日：2016-08-08
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
CPC分类号： G01H9/00
摘要： 附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104849008B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510235814.8
申请日：2015-05-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 长永磁管向心励磁的圆柱形封闭磁场式低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种圆柱形封闭式磁场结构设计，永磁管以粘接方式同轴装配在长圆筒形外磁轭内部进行励磁，永磁管内表面磁极的极性相同，通过磁轭构成闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁场分布，与气隙相邻的中心磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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公开(公告)号：CN104833468B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510235648.1
申请日：2015-05-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 四磁路对称励磁的矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放式磁场结构设计，四个永磁体对称安装在两个外磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成四个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的磁感应强度分布，工作线圈通电后在磁场中受洛伦兹力作用，产生精密可控的电磁驱动力，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗；本发明可兼顾大行程、高磁场均匀性、大推力和线性电磁驱动力特性，可有效解决现有技术方案存在的不足，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的电磁振动台磁路结构技术方案。
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