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公开(公告)号：CN113120854A
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN202110235018.X
申请日：2021-03-03
Applicant: 复旦大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 本发明涉及一种背衬型高频宽带PMUT单元及PMUT阵列，PMUT单元包括依次叠层的基底(1)、电隔离层(2)、下电极(3)、压电层(4)、上电极(5)、钝化层(6)和引线层(7)，所述的基底(1)上从其底部沿轴向向上开设有一盲孔式空腔形成背腔，所述的背腔中填充背衬材料(8)。PMUT阵列包括若干按行列依次排列的PMUT单元。与现有技术相比，本发明背衬结构可以将PMUT阵列带宽提高一倍以上，并且同时满足相控阵对单元间距的要求。
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公开(公告)号：CN106587286B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201611176352.8
申请日：2016-12-19
Applicant: 复旦大学
IPC: C02F1/469 , C02F103/08
Abstract: 本发明公开了一种基于微流控沟道系统的海水净化装置及其制备方法，该装置包含：衬底，设置在衬底上的液体沟道，以及设置在液体沟道上用于定义并密封液体沟道的上盖板。液体沟道包含：去离子沟道，设置在去离子沟道两侧的电极对，设置在去离子沟道与电极对之间的介质层，以及与去离子沟道相连通的进口沟道和出口沟道。本发明的装置能够持续、稳定、低能耗、高效能净化海水，同时又能够与现有微流控技术相兼容的集成化微流控芯片，进而在改进现有电容式净水功能器件的基础上扩大微流控技术的应用范围。
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公开(公告)号：CN110170341B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201811407247.X
申请日：2018-11-23
Applicant: 复旦大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种利用声表面波技术实现粒子高通量分选的数字微流控器件，其包含上极板与下极板，该下极板由依次设置的衬底、压电层、电极层、介质层及疏水层构成，电极层包含：对称设置的两个蓄液池区域、液滴精确生成区域、声表面波富集区域。利用本发明的器件可以进行多种生物实验的前处理操作，主要包括分选和富集。通过对第一电极、第二电极、叉指电极及第三电极按照一定顺序和规则施加电压，形成液体不间断的模拟流道，使得液体向需要的方向流动；基于逆压电效应，通过控制叉指电极的电压，有控制的改变声学力和粘滞力的比例，可以对不同尺寸的粒子进行相应的分离操作，从而可以在较高的通量下获得很高的分选效率。
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公开(公告)号：CN106582901B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201611177684.8
申请日：2016-12-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种能自动调控溶液离子浓度的微流控器件、其制备及使用方法，该器件包含：设置在衬底上的沟道系统；及，用于密封该沟道系统的盖板；其中，该沟道系统包含：扩散沟道，及，分别设置在其两端的入口沟道和出口沟道；上述的入口沟道包含若干在扩散沟道的一端交汇的入口；上述的出口沟道包含若干对应上述入口的出口，该出口在扩散沟道的另一端交汇。本发明提供的能自动调控溶液离子浓度的微流控器件具有设计新颖、控制简单、自动化程度高、输出精度高、对溶液内其他物质浓度没有影响等特点，极大地拓展了微流控技术及现场快速检测技术等的集成化程度与应用范围。
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公开(公告)号：CN110170341A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201811407247.X
申请日：2018-11-23
Applicant: 复旦大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种利用声表面波技术实现粒子高通量分选的数字微流控器件，其包含上极板与下极板，该下极板由依次设置的衬底、压电层、电极层、介质层及疏水层构成，电极层包含：对称设置的两个蓄液池区域、液滴精确生成区域、声表面波富集区域。利用本发明的器件可以进行多种生物实验的前处理操作，主要包括分选和富集。通过对第一电极、第二电极、叉指电极及第三电极按照一定顺序和规则施加电压，形成液体不间断的模拟流道，使得液体向需要的方向流动；基于逆压电效应，通过控制叉指电极的电压，有控制的改变声学力和粘滞力的比例，可以对不同尺寸的粒子进行相应的分离操作，从而可以在较高的通量下获得很高的分选效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106669870B
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201611177682.9
申请日：2016-12-19
Applicant: 复旦大学
IPC: B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种能基于咖啡环效应进行表面修饰的电润湿器件及修饰方法，该电润湿器件包含：下极板，该下极板由衬底、电极层、介质层、疏水层从下到上依次设置构成；其中，包含修饰物质的液滴置于疏水层之上；电极层包含若干驱动电极和若干修饰电极，电极两两之间电气隔离；上述的驱动电极定义液滴传入路径；上述的修饰电极由自内而外分布的若干环状电极构成，基于电润湿效应通过修饰电极能确定上述的液滴的中心位置及边缘位置。本发明通过对液滴输运与蒸发过程的控制，使得修饰电极表面不同位置被修饰上了不同的物质。本发明的修饰方法具有设计新颖、控制简单、自动化程度高等特点，极大地拓展了数字微流控及现场快速检测等技术的应用范围。
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公开(公告)号：CN109270807A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811487907.X
申请日：2018-12-06
Applicant: 复旦大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种双面标记激光曝光设备，其包含：样品台；激光光源；掩膜版，该掩膜版上具有对准标记；分光镜，通过掩膜版的激光经该分光镜分为相互垂直第一激光束、第二激光束；设置在样品正面正上方、样品背面正下方的第一聚焦透镜、第二聚焦透镜；及，若干用于改变光路路径的反射镜；第一激光束经第一光路垂直入射至样品正面；第二激光束经第二光路垂直入射至样品背面。本发明通过设计的光路结构，对分光器分出的两光束进行操作，构建第一光路与第二光路，在样品的正面和背面形成大小、位置、形状完全一致的对准标记，以用于后续紫外光刻过程中的对准。本发明的曝光设备成本低，有效提高现有设备利用效率，几乎不存在机械磨损误差。
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公开(公告)号：CN105622975A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610054273.3
申请日：2016-01-27
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: C08J7/126 , B01L3/502707 , B01L2300/12 , B01L2300/166 , C08J7/12 , C08J2301/12 , C08J2467/04 , C08L1/12 , C08L67/04
Abstract: 本发明公开了一种超疏水介质材料的制备方法及其制备的介质材料，该方法包含如下步骤：步骤1，采用四氟化碳反应气源处理电介质材料：功率100W~50W，气体流量30sccm~10sccm；步骤2，采用三氟甲烷反应气源处理步骤1处理后的电介质材料：功率为50-75W，气体流量为10-30sccm。本发明实现了生物可兼容材料的表面改性，使得其具有超疏水性，且方法简单，与目前集成电路工艺兼容，对使用该材料的介质电润湿数字微流控芯片在生物医药中的应用具有重大意义。
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公开(公告)号：CN103412024B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310281256.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/416
Abstract: 本发明属于集成微分析芯片技术领域，具体涉及一种集成电化学传感芯片。本发明芯片分两大部分：一是置于芯片下极板的数字微流控驱动模块，进行微尺度液滴的产生、输运、混合、分裂等操作，可实现液体样本的自动化操控；二是置于芯片上极板的集成电化学传感模块，可进行实时、微量、快速的电化学检测。本发明芯片具有设计新颖、集成度高、操作方便、自动化程度高等许多优点，可应用于自动化微分析领域和片上实验室领域等。
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公开(公告)号：CN103170383B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310074476.5
申请日：2013-03-10
Applicant: 复旦大学
IPC: B01L3/00 , G01N27/416
Abstract: 本发明属于微分析芯片技术领域，具体为一种基于纳米材料电极修饰的电化学集成数字微流控芯片。本发明芯片以数字微流控芯片为基础，集成有电化学传感的微细电极，电化学电极嵌入于数字微流芯片的控制电极中，所有电极处于芯片的同一平面上。通过微流体自动化操控实现电化学传感电极的纳米材料修饰，以增强微流控芯片上的电化学传感能力。本芯片具有设计新颖、集成度高、制作方便、自动化程度高、检测能力强等优点，可以实现微量、快速、灵敏检测，大大地拓宽电化学传感及数字微流控领域的应用范围。
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