光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜

    公开(公告)号:CN102540727B

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201110361741.9

    申请日:2011-11-15

    Inventor: 吴明儒 施俊安

    CPC classification number: G03F7/0233 G03F7/0007 G03F7/0757 G03F7/40

    Abstract: 本发明是有关一种光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜。该光硬化性聚硅氧烷组成物包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C),其中,以凝胶渗透色层分析法测试该聚硅氧烷高分子(A)的分子量分布,将分子量介于400~100,000的讯号作积分,以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线,该聚硅氧烷高分子(A)的分子量介于10,000~80,000者占25~60wt%,且该聚硅氧烷高分子(A)的分子量在800以下的寡聚物的含量占光硬化性聚硅氧烷组成物的0~10wt%。本发明还提供一种具有该保护膜的元件。该光硬化性聚硅氧烷组成物可具有较佳显影性及适当软化点,其后续所形成的保护膜在经过后烤后,能形成不易塌陷的图案。

    光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜

    公开(公告)号:CN102443265B

    公开(公告)日:2013-06-05

    申请号:CN201010505031.4

    申请日:2010-10-09

    Inventor: 吴明儒 施俊安

    Abstract: 本发明涉及一种光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜。该光硬化性聚硅氧烷组成物包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C),以凝胶渗透色层分析法测试该聚硅氧烷高分子(A)的分子量分布,将分子量介于500~50000的信号作积分,以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线,该聚硅氧烷高分子(A)的分子量大于8000者占30%以下,分子量介于500~2000者占35~60%。本发明也提供一种通过将该光硬化性聚硅氧烷组成物涂布于基材上,再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成的保护膜,及一具有保护膜的元件。本发明的光硬化性聚硅氧烷组成物具有显影性佳及膜厚均一等特性。

    光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜

    公开(公告)号:CN102443265A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201010505031.4

    申请日:2010-10-09

    Inventor: 吴明儒 施俊安

    Abstract: 本发明涉及一种光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜。该光硬化性聚硅氧烷组成物包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C),以凝胶渗透色层分析法测试该聚硅氧烷高分子(A)的分子量分布,将分子量介于500~50000的信号作积分,以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线,该聚硅氧烷高分子(A)的分子量大于8000者占30%以下,分子量介于500~2000者占35~60%。本发明也提供一种通过将该光硬化性聚硅氧烷组成物涂布于基材上,再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成的保护膜,及一具有保护膜的元件。本发明的光硬化性聚硅氧烷组成物具有显影性佳及膜厚均一等特性。

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