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公开(公告)号：CN113311096B
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202110719416.9
申请日：2021-06-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/68
Abstract: 本发明提供一种氦离子化检测器及其制备方法，包括衬底、激发电极对、进气管、偏置电极及收集电极；衬底中具有腔室，腔室包括激发电极沟道、进气沟道及出气沟道，激发电极沟道与出气沟道相连通构成第一交汇区，进气沟道与出气沟道相连通构成第二交汇区；激发电极对的激发电极区位于第一交汇区；进气管为具有相同形貌且相向设置的第一进气管及第二进气管，可向第二交汇区提供具有相同压强的辅助载气及样品载气；偏置电极及收集电极位于出气沟道中，且设置于第二交汇区外侧远离第一交汇区处。本发明可在腔室中形成高压“准零流速区”，有利于激发氦等离子体，且此区域氦气流速极低，有利于稳定氦等离子体基团，进而可降低基线噪声。
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公开(公告)号：CN108333283B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN201710042386.6
申请日：2017-01-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种含有流线型椭圆微柱阵列的微色谱柱及其制备方法，所述微色谱柱包括：微沟道；以及椭圆微柱阵列，周期性排列于所述微沟道内，椭圆微柱的长轴与待测组分的流动方向平行，短轴方向与待测组分的流动方向相垂直，所述椭圆微柱的长轴与短轴的长度比为2:1~4:1。本发明将微色谱柱的微柱设计为具有流线型结构的椭圆微柱，一方面可以使得微柱后所形成的“准零流速区”的区域大大缩小，以提高微色谱柱内固定相涂敷的均匀性；另一方面可以使得柱内的流速分布更均匀，以抑制色谱峰型的展宽。
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公开(公告)号：CN112595791B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202011549728.1
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法，基于电磁阀进行有序的流路切换，可实现气相色谱装置的吹扫、采样、进样及检测等功能，且采用功耗低的微型电磁阀，可降低气相色谱装置的功耗，且基于微型电磁阀的体积小、重量轻的特性，还有利于气相色谱装置的微小型化，从而本发明有利于实现气相色谱装置的低功耗和微小型化的发展，以提高气相色谱装置的操作便捷性，扩大气相色谱装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN117825597A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311814334.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种旁路式微热导检测器及其制备方法，在微热导检测器中设置与微沟道相连通的旁路沟道，并设置悬挂于旁路沟道中的具有热导检测元件的热导检测元件支撑结构，可避免气体直接冲击热导检测元件，从而可降低强制对流在传热机制中的占比，进而降低闭合沟道中气体流速变化对热导检测元件的影响，提高微热导检测器的信噪比及检测准确度。
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公开(公告)号：CN117783402A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311814821.4
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/66
Abstract: 本发明提供一种具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，减少了外接引线产生的接触电阻，减少了检测器的噪声干扰，提高了检测器的信噪比，从而降低了检测器的检测限，且对外仅提供四个焊盘接口，方便器件的使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108181413B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN201611124553.3
申请日：2016-12-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于双面键合工艺的微色谱柱及其制备方法，所述制备方法包括步骤：在一块硅片上正、反两面刻蚀微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在该硅片的正反两面完成硅玻璃阳极键合，最后获得玻璃‑硅‑玻璃结构的双色谱柱芯片；或者在两块硅片上分别刻蚀出微色谱柱所需的微沟道，随后分两步分别在一块玻璃片的正反两面完成硅玻璃键合，最后获得硅‑玻璃‑硅结构的双色谱柱芯片。当采用微色谱柱和微热导检测器组成微型气相色谱仪时，只需一个本发明所提供的双面键合的微色谱柱芯片，具有便于安装，节省材料成本等诸多优点，在微电子机械系统领域尤其是色谱分析领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN116651136A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310667417.2
申请日：2023-06-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种用于轻烃分离的微色谱柱及其制备方法，采用FG及HKUST‑1制备微色谱柱的FG‑HKUST‑1固定相，且FG‑HKUST‑1固定相为非极性材料，除了对C1～C4的轻烃具有筛分效应外，进一步的，非极性的FG‑HKUST‑1固定相与非极性的轻烃之间存在色散力，如非极性的甲烷和乙烷，可使得非极性的FG‑HKUST‑1固定相对非极性的轻烃具有较强的保留能力，从而可提高C1～C4轻烃的分离度，尤其是针对分离度较低、浓度相差悬殊、性质较接近的轻烃，如甲烷和乙烷，从而本发明可满足对轻烃定性定量分析检测的要求。
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公开(公告)号：CN115060842A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210593787.1
申请日：2022-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N30/60
Abstract: 本发明提供一种含有交错排列椭圆微柱阵列的微色谱柱及制备方法，通过位于微沟道中的交错排列的n×m椭圆微柱阵列，可有效减少流速的周期性变化，因此可提高气体的平均流速，减少微色谱柱的分析时间；且可压缩“准零流速区”，减少死体积的产生，有助于提高色谱峰的峰面积。
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公开(公告)号：CN112595791A
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN202011549728.1
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于电磁阀自动进样的气相色谱装置及检测方法，基于电磁阀进行有序的流路切换，可实现气相色谱装置的吹扫、采样、进样及检测等功能，且采用功耗低的微型电磁阀，可降低气相色谱装置的功耗，且基于微型电磁阀的体积小、重量轻的特性，还有利于气相色谱装置的微小型化，从而本发明有利于实现气相色谱装置的低功耗和微小型化的发展，以提高气相色谱装置的操作便捷性，扩大气相色谱装置的应用范围。
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公开(公告)号：CN111855877A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910362630.6
申请日：2019-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法，基于MEMS的多固定相微型填充柱结构包括：衬底，衬底的表面形成有沿衬底的表面延伸的微沟道，微沟道的一端为入口端，另一端为出口端；微阻挡柱组件，位于微沟道内，且临近微沟道的出口端；至少一个微筛选柱组件，位于微沟道内，且位于微阻挡柱组件与微沟道的入口端之间。本发明的基于MEMS的多固定相微型填充柱结构及其制备方法通过在微沟道内设置微阻挡柱组件及微筛选柱组件，可以实现固定相自主分段填充，最终实现多种类的混合气体的一次性分离，扩展了色谱柱的使用范围，实现了微型填充柱结构的多功能化。
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