公开(公告)号：CN218740944U

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202221960672.3

申请日：2022-07-26

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 付柏山 ,  韩旭东 ,  俞大鹏 ,  潘娟 ,  牛冉 ,  李雨萌

IPC: B01D46/62 ,  B01D46/00 ,  B01D46/42 ,  B01D53/04 ,  F17D1/02 ,  C01B23/00

Abstract: 本申请公开了一种高纯度氦三气体净化与氢提取装置，其中，该高纯度氦三气体净化与氢提取装置包括真空腔装置、净化部件、除氢部件以及制冷装置，净化部件通过制冷装置制冷至第一预设温度，除氢部件通过制冷装置制冷至第二预设温度，在第一预设温度下，高纯度氦三气体进入净化部件进行过滤，之后，在第二预设温度下，高纯度氦三气体进入除氢部件进行去除氢气。本申请中在第一预设温度下通过净化部件对高纯度氦三气体进行过滤，之后在第二预设温度下通过除氢部件对高纯度氦三气体进行去除氢气，用以实现对高纯度氦三气体进行去氢提纯的效果，结构简单，容易实现，能够保证氦三气体在超低温设备中正常使用。

公开(公告)号：CN216772195U

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202123442516.6

申请日：2021-12-30

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 黄龙 ,  张刘晶 ,  张振生 ,  俞大鹏

IPC: G03F7/20

Abstract: 本实用新型适用于固定装置领域，提供了载物台，包括基板，以及设于基板上的载板和至少一个推压组件，基板开设有容置腔，载板位于容置腔内并用于承载光刻物，载板的厚度小于容置腔的深度，推压组件设于容置腔并位于载板的一侧；推压组件包括斜压块和紧固件，斜压块开设有上下贯通的滑槽，紧固件能够沿滑槽移动，紧固件能够穿过滑槽而将斜压块与基板连接，斜压块背离载板的表面为倾斜面，容置腔具有与倾斜面配合的引导面，在光刻物位于载板上时，斜压块能够抵压光刻物。本实用新型提供的载物台，能够解决现有光刻物受到上下夹紧所带来的磨损或破损的问题，且能够达到对光刻物的固定松紧可调的效果。

公开(公告)号：CN216670243U

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202122735439.7

申请日：2021-11-09

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 黄龙 ,  李晋 ,  张振生 ,  俞大鹏

IPC: G01R33/10

Abstract: 本实用新型涉及磁场测量技术领域，提供了一种磁场测量装置，包括：放置板；支架，支架固定设置在放置板上，支架上设置有多个调整孔，多个调整孔沿垂直于放置板的方向间隔设置；固定块，固定块上设置有连接孔；连接件，连接件穿设于连接孔和其中一个调整孔内，以将支架和固定块连接在一起；位移组件，位移组件与固定块连接；磁场探头，磁场探头设置在位移组件上且能够在位移组件的带动下相对于固定块移动，及数据处理仪，数据处理仪与磁场探头电性连接并用于对磁场探头传送过来的信号进行分析和处理。本实用新型之磁场测量装置，可以根据不同尺寸的磁场源对应调整磁场探头的位置，减小测量结果的误差。