一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置

    公开(公告)号:CN103727548B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201310678781.5

    申请日:2013-12-14

    IPC分类号: F23G7/06 F23J15/02

    摘要: 本发明公开一种APCVD在线低辐射镀膜废气处理装置,包括通过管道依次连通的变频废气风机(1)、焚烧炉(2)、高温静电除尘装置(3)、洗涤塔(4)、重力脱水装置(5)与引风机(6);通过各个废气处理装置的有序配合,处理高温、酸性、含尘、含氟的镀膜废气;洗涤塔(4)废液出口及重力脱水装置(5)出水口还连通有回水池(9),回水池(9)通过抽液泵(13)与冷却塔(14)与供液池(8)构成循环通路,使洗涤塔(4)中未反应完全的碱液循环利用,反应完全后的废液经泥浆泵(15)抽至压滤机(16),通过压滤机(16)的固液分离,使滤液进入废水池(10)后再经废水泵(17)喷入焚烧炉(2)燃烧处理,滤渣可回收利用,从而实现了在镀膜废气处理过程中产生废水的循环净化,达到无污染排放的目的。