四氟化硅尾气排空装置
    61.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220696346U

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202322310891.8

    申请日:2023-08-25

    摘要: 本实用新型提供了一种四氟化硅尾气排空装置,包括预处理组件、水洗组件和冷水循环组件,预处理组件和水洗组件设置在冷水循环组件两侧,预处理组件和水洗组件通过排气管连通;所述预处理组件包括预处理箱体、进气管、第一排液管、第一杂质过滤盒,进气管设置在预处理箱体的顶部,第一杂质过滤盒设置在预处理箱体内部,第一排液管设置在预处理箱体远离水洗组件一侧的底部,第一排液管上设有第一止液阀,预处理箱体的前侧设有第一箱门,第一箱门上设有第一把手。本装置的预处理组件能够避免尾气排空装置因二氧化硅沉淀导致的阻塞。

    一种气体取样装置
    62.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220508548U

    公开(公告)日:2024-02-20

    申请号:CN202321822562.5

    申请日:2023-07-11

    IPC分类号: G01N1/24

    摘要: 本实用新型提供了一种气体取样装置,包括箱体、气囊和采样瓶,所述采样瓶设置在所述箱体内,所述采样瓶外侧包覆有气囊;所述采样瓶顶部设置有输送管,所述输送管进气端与所述采样瓶固接,其出气端延伸至所述箱体外侧;所述输送管下方的所述采样瓶内安装有排气装置;所述采样瓶侧壁开设有排气口;所述箱体上开设有进气管和出气口,所述出气口中安装有开合结构。本实用新型利用箱体与采样瓶内的压差进行取样,配合风扇进行排气,确保采样结束后剩余气体可以充分排出,避免残留气体影响下一次采样。

    一种气罐阀门转接管线
    63.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220416581U

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202321816999.8

    申请日:2023-07-11

    IPC分类号: F16L43/02 F17C13/00

    摘要: 本实用新型提供了一种气罐阀门转接管线,包括:螺旋弯管,所述螺旋弯管的一端与供气面板上设置的仪表接口相连接,其另一端预留有连接接口,所述螺旋弯管高度可调节,且通过固定带固定在气路管线上;转接弯管,所述转接弯管的一端设有VCR接头,所述VCR接头与所述连接接口配对连通,所述连接管道的另一端设有连接接头,所述连接接头与气罐的阀门排气口相连接。本实用新型所述的一种气罐阀门转接管线整体形状相对固定,使用时,不会造成管线的疲劳,可有效提高气体检测的安全性及管线使用寿命。

    一种四甲基硅烷的分离提纯装置系统

    公开(公告)号:CN219941854U

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202320998833.6

    申请日:2023-04-27

    摘要: 本实用新型涉及半导体硅基前驱体材料的生产技术领域,具体关于一种四甲基硅烷的分离提纯装置系统,所述装置系统包括水处理单元、过滤单元、分液单元、吸附单元四个部分;本实用新型以甲基氯硅烷生产过程中的低沸副产物为原料,经水处理、过滤不溶物、分离水层以及吸附小分子等过程,能够连续、稳定地生产四甲基硅烷,没有沿用精馏纯化的思路,避免了精馏设备的使用,克服了无法连续提纯含Si‑Cl键的硅烷类杂质原料的缺陷。