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公开(公告)号：CN101900952B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010242033.9
申请日：2010-08-02
Applicant: 中南大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出一种采用磁悬浮技术的光刻机掩模台，主要由精密导轨、基座、悬浮体等组成。悬浮体内安装有电磁铁，结合涡流位移传感器，实现悬浮体稳定悬浮在导轨上方；直线电机定子固定在基座上，直线电机动子固定在悬浮体上，导轨面上设有光栅尺，结合安装在悬浮体上的光栅尺读数头，实现悬浮体精密直线定位运动。本发明所提出的磁悬浮光刻机掩模台利用电磁吸力、电磁直线驱动使光刻机掩模台完成无机械接触式的往返精密快速直线定位运动，可以实现使用旋转伺服电机驱动、精密滚珠丝杆传动和滑动导轨支撑的传统方案所无法实现的超洁净、高速度、大行程、精密定位运动等功能，具有比气悬浮光刻机掩模台更大的悬浮刚度和更好的承载特性。
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公开(公告)号：CN113806927B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202111025292.0
申请日：2021-09-02
Applicant: 中南大学
Abstract: 本申请公开了一种同轴型激光器焊后偏移的量化方法及系统，该方法包括：获取对同轴型激光器进行焊接之前的第一光功率；获取对所述同轴型激光器进行焊接之后的第二光功率；根据所述第一光功率和所述第二光功率得到对所述同轴型激光器进行焊接前后的光功率变化；根据对应关系确定所述光功率变化对应的所述同轴型激光器焊接后的偏移量，其中，所述对应关系是预先获取到的偏移前后的光功率变化与所述偏移的量化值之间的对应关系。通过本申请解决了现有技术中难以实现对器件焊后偏移量的量化的问题，从而得到了同轴型激光器量化后的偏移。
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公开(公告)号：CN113029031A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110326311.7
申请日：2021-03-26
Applicant: 中南大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种基于光谱共焦的高精度分步面形测量方法，包括：利用扫描探头照射出线光谱；根据扫描线光谱的扫描宽度，将测量对象的上表面划分为相应宽度的多个单元区；线光谱垂直于三维运动平台的扫描运动方向从单元区的一端截面向另一端截面运动进行初步扫描，将扫描探头和线光谱旋转角度θ，并移动至初始位置，扫描探头从单元区的一端截面向另一端截面运动进行二次扫描，收集初步扫描的测量数据以及二次扫描的测量数据；利用同单元区二次扫描的测量数据对同单元区初步扫描的测量数据进行校准；将校准后初步扫描的测量数据对测量对象的上表面的三维形貌重构。本发明还提供了基于光谱共焦的高精度分步面形测量装置。
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公开(公告)号：CN109940266A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910285953.X
申请日：2019-04-10
Applicant: 中南大学 , 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
IPC: B23K26/035 , B23K26/073
Abstract: 本发明实施例提供一种透镜定位装置及定位方法，包括：底座、激光器芯片、第一支架、探针、探头、第二支架、夹头、夹座和目标透镜，其中，第一支架固定在底座上，激光器芯片固定在第一支架上，探针固定在激光器芯片的一侧，第二支架固定在底座上，第二支架与第一支架垂直，探头安装在第二支架上，夹座安装在底座上，夹头安装在夹座上，目标透镜位于激光器芯片上方。本发明通过比较目标光斑与预设光斑在形状、位置和大小上的差异，以对目标透镜的位置进行实时的调整，直到目标光斑与预设光斑完全重合的时候，说明目标光斑达到最佳位置，将对目标透镜的位置调整转换为对目标光斑的调整，简化了调整的复杂度，并且实现了对目标透镜的自动化定位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109932829A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910286004.3
申请日：2019-04-10
Applicant: 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司 , 中南大学
Abstract: 本发明实施例提供一种透镜定位装置及方法，该装置包括：底座、第一支架、料盘、第二支架、第一相机、第三相机、第三支架、第二相机、夹头、控制器、第四支架、激光器芯片、探针、第五支架和探头，其中，第一支架沿X轴方向安装在底座上，料盘安装在第一支架上，第二支架沿Y轴方向安装在底座上，第一相机和第三相机安装在第二支架上，控制器安装在底座上，夹头安装在控制器前端，第三相机位于料盘上方，料盘用于装载目标透镜，第三支架沿X轴安装在第一支架旁侧，第二相机安装在第三支架上。本发明实施例提供的一种透镜定位装置及方法，通过机器来透镜定位的问题，提高了透镜定位效率，并且精确度较高。
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公开(公告)号：CN109909915A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910285935.1
申请日：2019-04-10
Applicant: 中南大学 , 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明涉及光学元件测试技术领域，公开了一种透镜夹具，包括夹头主体和在夹头主体上的上夹头、下夹头、限位板和驱动机构；限位板和上夹头固定在夹头主体上，夹头主体上设有滑槽，上夹头和下夹头设置在限位板和滑槽之间；下夹头卡接在滑槽内，与滑槽活动式连接；驱动机构与下夹头连接，用于驱动下夹头沿水平方向移动，使下夹头固定在与上夹头相互夹紧的第一位置，或固定在与上夹头相互松开的第二位置。本发明通过在夹头主体上设置上夹头、下夹头、限位板和驱动机构，在夹头主体上设置滑槽，以通过驱动机构驱动上夹头可沿水平向分别固定在与下夹头沿水平方向相互夹紧的第一位置，或相互松开的第二位置，实现透镜放置与切换，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN107030381B
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201710319047.8
申请日：2017-05-08
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明公开了同轴型光器件耦合焊接系统，其包括上夹具结构、下夹具结构、焊接装置、机架结构以及旋转连接结构，其中，旋转连接结构包括旋转平台，上夹具结构和下夹具结构固定安装在旋转平台上；电机结构通过旋转轴驱动旋转平台转动；以及中间传动结构，设于旋转平台与电机结构之间，并在电机结构的旋转轴带动下驱动旋转平台发生转动；中间传动结构包括至少两个中间轴承，旋转平台与中间轴承的内圈固定连接，旋转轴与中间轴承的内圈固定连接，中间轴承的外圈与机架结构固定连接；其结构简单，旋转轴的旋转角度为旋转平台的旋转角度、旋转精准度高；多个中间轴承防止发生倾斜，保证旋转平稳性，从而确保焊接精准度。
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公开(公告)号：CN107030381A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710319047.8
申请日：2017-05-08
Applicant: 中南大学
CPC classification number: B23K26/21 , B23K26/0823 , B23K26/0884 , B23K26/702 , B23K37/0435
Abstract: 本发明公开了同轴型光器件耦合焊接系统，其包括上夹具结构、下夹具结构、焊接装置、机架结构以及旋转连接结构，其中，旋转连接结构包括旋转平台，上夹具结构和下夹具结构固定安装在旋转平台上；电机结构通过旋转轴驱动旋转平台转动；以及中间传动结构，设于旋转平台与电机结构之间，并在电机结构的旋转轴带动下驱动旋转平台发生转动；中间传动结构包括至少两个中间轴承，旋转平台与中间轴承的内圈固定连接，旋转轴与中间轴承的内圈固定连接，中间轴承的外圈与机架结构固定连接；其结构简单，旋转轴的旋转角度为旋转平台的旋转角度、旋转精准度高；多个中间轴承防止发生倾斜，保证旋转平稳性，从而确保焊接精准度。
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公开(公告)号：CN106556347A
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201610990860.3
申请日：2016-11-10
Applicant: 中南大学
Abstract: 本发明提供一种光电子封装柔性并联平台末端位姿检测系统及方法，该系统包括六套位姿检测装置，用于检测动平台的六个自由度的位姿值，同时六个传感器均固定在动平台之外的支架上，动平台只需要安装检测挡板，减轻了动平台的压力，避免对动平台的运动造成干扰；而且传感器具有体积小、安装方便和成本低廉的优点。本发明对柔性并联平台的动平台姿态的检测调整分为宏观位姿检测和微观位姿检测两个部分：宏观位移使得位姿精度控制在十微米范围内，通过六套位姿检测装置测出六自由度平台的实际位姿；微观位姿检测是利用光功率计进行检测调整，通过光功率计来观察透光量的数据，以进行微调。
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