一种器件的制造方法
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    发明公开

    公开(公告)号:CN113871537A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202110977575.9

    申请日:2021-08-24

    IPC分类号: H01L51/44 H01L51/48 G03F7/42

    摘要: 本申请提供一种器件的制备方法,在衬底上形成太阳能电池层,在太阳能电池层远离衬底的一侧形成光刻胶层,在光刻胶层远离衬底的一侧覆盖有掩膜版,掩膜版具有栅线形状图案;在掩膜版的遮掩下进行曝光,以在光刻胶层中形成曝光区域,显影溶液中洗去曝光区域的光刻胶层,形成显影槽,在显影槽内和光刻胶层远离衬底的一侧形成金属层,对光刻胶层和金属层进行冷热循环,以使显影槽侧壁的金属层断裂,形成断裂口,去除光刻胶层和光刻胶层远离衬底一侧的金属层。即通过冷热循环使显影槽侧壁的金属层断裂,让光刻胶层表面的金属层和显影槽内的金属栅线断开,可促进有机溶剂和光刻胶的接触,提高脱膜效率,同时防止脱膜工序中将栅线去除,提高器件性能。