公开(公告)号：CN103032515B

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201210578292.8

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027

摘要： 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062311B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210575350.1

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 双层气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062307B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210575172.2

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 王雷 ,  崔俊宁 ,  谭久彬 ,  赵勃

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16F6/00 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。

公开(公告)号：CN103062297B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574693.6

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间采用磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062295B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574657.X

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  G03F7/20

摘要： 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的磁浮隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过磁浮推力轴承进行承载，活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。

公开(公告)号：CN103062292B

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201210574278.0

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06 ,  G03F7/20

摘要： 双层气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，套筒与气浮板之间通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN104235260A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201210575896.7

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03 ,  F16C32/06

摘要： 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间采用磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103062317B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201210575872.1

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  G03F7/20

摘要： 二维柔性铰链角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间分别气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，电机、位移传感器、限位开关与控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维近似零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103047354B

公开(公告)日：2014-11-12

申请号：CN201210575210.4

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 谭久彬 ,  崔俊宁 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16F15/03

摘要： 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板之间通过气浮面润滑与支撑、通过电磁阻尼器衰减振动能量，气浮板与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

公开(公告)号：CN103047362B

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201210578293.2

申请日：2012-12-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 崔俊宁 ,  谭久彬 ,  王雷

IPC分类号： F16F15/027 ,  F16C32/06

摘要： 双层气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、气浮板与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。