空间电荷测量装置
    72.
    实用新型

    公开(公告)号:CN216485269U

    公开(公告)日:2022-05-10

    申请号:CN202122940430.X

    申请日:2021-11-25

    IPC分类号: G01R29/24

    摘要: 本实用新型提供了一种空间电荷测量装置,其包括:上电极系统,包括上壳体和上电极组件,上壳体具有上容纳腔,上电极组件包括加热绝缘部和上电极本体,加热绝缘部和上电极本体均设置在上容纳腔内,且加热绝缘部位于上电极本体的上方,上电极本体具有相对设置的连接端和测试端,上电极本体的连接端与加热绝缘部连接,加热绝缘部用于对上电极本体加热;下电极系统,位于上电极系统的下方,被检测件位于上电极系统和下电极系统之间;检测组件,设置在下电极系统上,检测组件用于获取被检测件的检测数据。通过本申请提供的技术方案,可以解决现有技术中的上电极和与其配合的金属屏蔽罩之间容易发生短路的问题。