公开(公告)号：CN204479607U

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201520051938.6

申请日：2015-01-26

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王晨 ,  白剑 ,  罗宇杰

IPC: G01P15/03

Abstract: 本实用新型公开了一种光栅组微机械加速度传感器，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块；本实用新型依据伍德异常现象，利用两层光栅由于加速度对质量块的牵引所产生的位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，对应的加速度也不同，从而对加速度信号细分，测量加速度。本实用新型实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN204269077U

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201420677763.5

申请日：2014-11-13

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王晨 ,  白剑 ,  张赛 ,  汪凯巍

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型公开了一种组合光栅微位移传感器，该传感器包括两组发射接收结构、第一运动光栅、第二运动光栅、第一固定光栅、第二固定光栅、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本实用新型大大缩小了系统的体积，而且引入了梳状电极、电容平板作为静电力回复闭环器件，能够精确对位移进行探测，扩大了探测器的动态范围；通过一组光栅产生的脉冲式光强变化信号来锁定另一组光栅产生的平缓光强变化信号斜率最大的位置，从而测量位移；实现了传感系统的小型化、高精度，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN204128506U

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201420675174.3

申请日：2014-11-13

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王晨 ,  白剑 ,  杨恺伦 ,  汪凯巍

IPC: G01B11/02

Abstract: 本实用新型公开了一种光栅组微位移传感器，它包括包括光源、分束器、第一光栅层、第二光栅层、增反层、第一红外光电探测器、第二红外光电探测器、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本实用新型依据伍德异常现象，利用两层光栅位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，从而对位移信号细分，测量位移。本实用新型实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN204479608U

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201520057619.6

申请日：2015-01-27

Applicant: 浙江大学

Inventor： 王晨 ,  白剑 ,  黄潇

IPC: G01P15/093

Abstract: 本实用新型公开了一种组合光栅微机械加速度传感器，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本实用新型大大缩小了系统的体积，而且引入了梳状电极、电容平板作为静电力回复闭环器件，能够精确对位移进行探测，扩大了探测器的动态范围；通过一组光栅产生的脉冲式光强变化信号来锁定另一组光栅产生的平缓光强变化信号斜率最大的位置，从而测量由于加速度牵引质量块所产生的位移；实现了传感系统的小型化、高精度，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。