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公开(公告)号:CN101208768B
公开(公告)日:2010-10-13
申请号:CN200680019274.9
申请日:2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/06
Abstract: 本发明涉及具有实现稳定的检测精度的细微结构的光电子倍增器。该光电子倍增器具内部被维持为真空的外围器,在该外围器内,配置有光电面(22)、电子倍增部(311)以及阳极(32)。特别地,配置于包围电子倍增部以及阳极的外围器的内部空间中的一个或一个以上的控制电极(320),通过从电子倍增部的电子放出端延伸的一个或一个以上的连接部而电连接。在该结构中,通过将施加于电子倍增部的电子入射端与电子放出端之间的电压施加于电子入射端与控制电极之间,在电子倍增部,形成从光电面侧朝向阳极侧逐渐增加的电位梯度,同时使该电子倍增部的电子放出端与阳极之间具有足够的电位差,可以得到稳定的检测精度。
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公开(公告)号:CN101238543A
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN200680029180.X
申请日:2006-06-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光电子倍增管(1)包括外围器(5)和容纳于外围器内的光电面(6),该外围器具有至少在一个端部形成有开口的框架(3b)和气密地接合于该开口的上侧基板(2),该光电面响应于从外部入射的光而向该外围器的内部放出光电子。在开口以及上侧基板的与开口接合的接合部分上分别形成有多层金属膜(10a、10b),该多层金属膜通过向着接合方依次层叠由钛形成的金属膜(11a、11b)、由白金形成的金属膜(12a、12b)、以及由金形成的金属膜(13a、13b)而形成,框架(3b)和上侧基板(2)通过在各多层金属膜之间夹着含有铟的接合层(14)而接合。由于在接合部分上没有形成铬层,因而防止了接合部分的氧化铬的析出,即使在外围器小型化的情况下,也稳定地保持了接合部分的气密性。
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公开(公告)号:CN101208768A
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:CN200680019274.9
申请日:2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01J43/06
Abstract: 本发明涉及具有实现稳定的检测精度的细微结构的光电子倍增器。该光电子倍增器具内部被维持为真空的外围器,在该外围器内,配置有光电面(22)、电子倍增部(311)以及阳极(32)。特别地,配置于包围电子倍增部以及阳极的外围器的内部空间中的一个或一个以上的控制电极(320),通过从电子倍增部的电子放出端延伸的一个或一个以上的连接部而电连接。在该结构中,通过将施加于电子倍增部的电子入射端与电子放出端之间的电压施加于电子入射端与控制电极之间,在电子倍增部,形成从光电面侧朝向阳极侧逐渐增加的电位梯度,同时使该电子倍增部的电子放出端与阳极之间具有足够的电位差,可以得到稳定的检测精度。
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公开(公告)号:CN101189700A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200680019795.4
申请日:2006-06-01
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J43/18
CPC classification number: H01J43/18
Abstract: 本发明涉及一种光电倍增器,其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器,在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上,配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电压分配部(311)。尤其是,电子倍增部由用于对来自光电面的光电子进行级联倍增的多段倍增电极构成,向这些各段倍增电极分别施加相应电压的电压分配部,和电子倍增部一起位于同一平面上。
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公开(公告)号:CN1328747C
公开(公告)日:2007-07-25
申请号:CN01811419.9
申请日:2001-06-15
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种倍增管电极的结构,其中,电子倍增孔(14)的内侧面包含相互对置的第1弯曲面(19a)和第2弯曲面(19b)。第1弯曲面(19a)以与输入开口(14a)对置的方式,制成从输入开口(14a)的缘部延伸、具有规定的半径的、大致为圆弧的形状。第2弯曲面(19b)以与输出开口(14b)对置的方式,制成从输出开口(14b)的缘部延伸、具有规定的半径的、大致为圆弧的形状。
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